Hot-filament chemical vapor deposition (HFCVD) is a promising method for commercial production of diamond films.Filament......

简单介绍了金刚石膜的化学气相沉积的主要方法、应用及其最新进展，并对各种方法的优缺点作了简要说明。......

运用热丝CVD技术在单晶硅片上沉积金刚石膜,金刚石微晶将优先在基片表面缺陷处生长。经研磨粗糙的硅基材表面上金刚石的晶粒密度,......

介绍了金刚石膜的应用和低压下化学汽相沉积金刚石膜的主要方法及其最新进展，并对各种方法的优缺点作了简要评述。......

在纯氢气气氛中对用ＨＦＣＶＤ法制备的无晶面的微晶金刚石薄膜进行了扩散热处理，结果表明，微晶金刚石在扩散热处理过程中将选择性长大，形成（１００）面金......