HfTaO薄膜相关论文
在多种多样的电介质材料中，高介电常数（高k）材料起着至关重要的作用，而在众多高k栅介质材料中，HfO2凭借其介电常数较高、禁带宽度较大及......
利用双离子束沉积系统沉积了HfTaO薄膜,并研究了退火对HfTaO薄膜的结构和电学性质的影响.将HfTaO薄膜分别在900℃和1 000℃下进行......
采用反应射频磁控溅射技术制备HfTaO薄膜,利用X射线衍射（XRD）分析了薄膜的微结构,通过紫外-可见光分光光度计测量了薄膜的透过谱,计......
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