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HF蒸气腐蚀相关论文

纳米梁的金硅原电池腐蚀和无损释放技术研究

采用金电极的硅纳米梁在通过HF湿法腐蚀SiO2牺牲层释放结构的时候会发生硅纳米梁被腐蚀现象，消除此效应对于纳米尺度梁制造非常重要......

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氢氟酸原电池腐蚀 HF蒸气腐蚀纳米梁 HF galvanic cell etching HF vapor-phase etching nano bea

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