介绍了电子束蒸发ＷＯ３膜和以该膜为敏感材料的Ｈ２Ｓ气体传感器工艺，分析了膜的灵敏度和膜的稳定性以及掺金和分步热处理对器件性能的影响 Th......

用不同方法制备H2S气敏元件. 将(CH4)5H5[H2(WO4)6]*H2O重结晶热分解得到纳米WO3材料, 再掺杂ZnS以及Al2O3制得的气敏元件对微量H2......

通过反应溅射,以硅基片(表面上有白金加热电极)为基底制作H2S薄膜气敏元件.实验表明,纳米SnO2对H2S具有较高的敏感度,对干扰气体的......