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Epitaxialwafer相关论文
外延片夹层电压数学模型推导
讨论了外延片的外延层电阻率、衬底电阻数、探针接触电阻、外延层纵向电阻与夹层电压之间的关系,推导了一种全新的二探针法测量外延......
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