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采用电子回旋共振等离子体增强金属有机物化学气相沉积技术,以自支撑金刚石厚膜作为衬底,改变缓冲层参数条件,低温沉积氮化镓（Ga N）......
GaN薄膜材料广泛应用于发光二极管(LED),激光二极管(LD)等光电器件。但是GaN基器件的制备与应用以及器件推广很大一部分取决于其器......
自支撑金刚石膜基片既具有天然金刚石最高的弹性刚度系数又具有最高声速的优异性能,使之成为声表面波滤波器(SAW)最佳的衬底选择材......
