为了获得具有高精密性的高阻值电阻薄膜,该文在Cr-Si硅化物靶材中加入Al元素,溅射制备一系列Cr-Si-Al系电阻薄膜,具体研究靶材成分......

研究了Cr-Si-Al和Cr-Si-Al-N两种薄膜的微观结构及电性能，结果表明：溅射态非晶Cr-Si-Al和Cr-Si-Al-N薄膜在加热到700℃的过程中，将析......