APMOCVD相关论文
Atmospheric pressure MOCVD was used to deposit ZnO layers on sapphire and homoepitaxial template under different oxygen ......
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报道了用国产APMOCVD系统生长GaN材料。研究了GaN过渡层生长温度、氮化时间、Ⅴ/Ⅲ比对GaN外延层晶体质量、光学性质的影响。发现低温生长GaN过渡层和氮......
本文报道了用常压金属有机化学气相沉积(APMOCVD)法在Si衬底上制备高质量的钛酸钡铁电薄膜,钡的β-二酮螯合物(Ba(DPM)2)和异丙氧基钛(TIP)作为金属有机源,在衬底......
在Al_2O_3衬底上GaN的APMOCVD生长缪国庆,元金山,朱景义,李玉琴,洪春荣(中国科学院长春物理研究所,长春130021)含氮回一V族化合物(包括GaN、AIN、InN和GaAIN)是直接带隙半导体材料......