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2-diazo-1-naphthoquinone-4-sulfonyl相关论文
一种新型i-线化学增幅型光致抗蚀剂材料的制备及性质
将具有高酸解活性的酯缩醛聚合物与重氮萘醌磺酸酯配合,组成正性化学增幅型光致抗蚀剂,用于高感度化学增幅型 i-线(365 nm)光致抗蚀剂.......
期刊
酯缩醛聚合物
重氮萘醌磺酸酯
化学增幅
i-线光致抗蚀剂
acetal polymers
2-diazo-1-naphthoquinone-4-sulfonyl
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