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将具有高酸解活性的酯缩醛聚合物与重氮萘醌磺酸酯配合，组成正性化学增幅型光致抗蚀剂，用于高感度化学增幅型 i-线（365 nm）光致抗蚀剂.实验结果表明：在酸的作用下，该类聚合物可分解为小分子片段；与传统的光致抗蚀剂体系相比，该体系用稀碱水显影时具有更高的溶解速率，且可进一步提高感度，可制作线宽小于0.5μm的图像.