非晶碳化硅膜相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

非晶碳化硅膜相关论文

掺硼对非晶碳化硅膜的影响

试验观测了掺硼对氢化非晶碳化硅膜生长速度，膜的组分，光学带隙，电导率，硬度和结合力的影响。结果证明，用等离子体分解（ＳｉＨ４和ＣＨ４）混合气体制备的......

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掺硼硬度光学带隙非晶碳化硅膜 trimethyl borate boron- doping hardness coherence force op

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