论文部分内容阅读
试验观测了掺硼对氢化非晶碳化硅膜生长速度，膜的组分，光学带隙，电导率，硬度和结合力的影响。结果证明，用等离子体分解（ＳｉＨ４和ＣＨ４）混合气体制备的α－Ｓｉ１－ｘＣｘ：Ｈ膜能有效的掺杂。硼掺杂可改变光学带隙，电导率和硬度。退火可增加薄膜的硬度和结合力。
掺硼对非晶碳化硅膜的影响
【摘 要】
：
试验观测了掺硼对氢化非晶碳化硅膜生长速度，膜的组分，光学带隙，电导率，硬度和结合力的影响。结果证明，用等离子体分解（ＳｉＨ４和ＣＨ４）混合气体制备的α－Ｓｉ１－ｘＣｘ：Ｈ膜能有效的掺杂。硼掺杂可改变光学带隙，电
【机 构】
：
合肥工业大学,合肥工业大学应用物理系
【出 处】
：
材料科学与工艺
【发表日期】
：
1994年1期
其他文献
很少有厂商会真正任意用户在细节之处的体验，他们更多地将注意力放在如何劝说消费者购买自己的产品上，但贝尔金可能是个例外——在我的印象中，这个公司推出的产品都是那些看似不
时下,用户硬盘里的东西是越来越多了,不管是下载的电影、音乐,还是自己创建的各类文档、拍摄的照片和视频,对用户来说,都是珍贵的数据,需要妥善保管。尤其是照片、视频,凝固
作为全球IT领域的盛大节门，2012年computex台北电脑展吸引了近2000家包括全球各大IT品牌侄内的电脑厂商。在这个众多IT精英齐聚一堂的展示平台、贸易平台，世界级的存储品牌领导
等离子体法制备超微材料是比较理想的方法之一，采用等离子体法制备类金刚石膜，近年来有了很大的进展，通过比较可知；等离子体法可以在低温下进行化学合成反应，实现了低温化学气相反
本文运用ECMWF的低频带通滤波资料,利用方差分析、Hovm(?)ller图和单点相关的分析方法,对1984年6—9月南半球200hPa风场进行研究,得到了准40天振荡的活动分布及位相传播、能
采用热力耦合三维钢塑性有限元方法，对水轮机叶片模压成型工艺进行了模拟研究，得到了成型过程中工件上的温度分布，应力分布及贴模情况，并与实际情况进行了对照，为进一步掌握水轮机
借助粉体表面改性的原理及液相化学沉积的包覆工艺,以高岭土为核,利用四氯化钛水解在其表面包覆一层纳米二氧化钛制成高岭土复合钛白,并用TEM、XRD等手段进行了表征.结果表明
利用显微图象分析仪，显微硬度计和扫描电镜（ＳＥＭ）对ＨＱ１３０远见 不完全淬火区（Ａｃ、～Ａｃ３）的组织性能进行了分析，针对峰值温度ｔｐ＝８００℃附近区域冲击韧性下降的问题，着重分析了Ｍ－Ａ组元及碳化物对脆化的影响，结果表
本文先对304L不锈钢进行■■充氧然后对充氢试样进行室温下拉伸,并用扫描电镜对拉伸断口进行形貌观察,同时对经不同拉伸变形后的充氧气样表面上的滑移线进行金相观察,此外还