为了有效解决集束型晶圆制造设备群加工过程中存在的重入调度问题,构建了带重入约束的双集束型晶圆制造设备调度算法.首先分析了双......

为提高集束型设备群的生产效率，在考虑加工不同种类晶圆条件下，研究带驻留约束的双臂集束型设备群的建模与调度问题．提出虚拟缓冲模块......

为有效解决集束型设备群多品种晶圆调度问题,构建考虑多晶圆流集束型设备群调度算法.统筹考虑多晶圆流、驻留和资源约束等特征,并......

随着300mm晶圆的加工技术问世，工业界开始采用一种全新的晶圆制造设备一集束型设备群（Multi-cluster tools）。对于单个集束型设备（Sing......

半导体企业为了在激烈的市场竞争中占据有利地位,需要不断提高制造系统产能和降低晶圆制造周期来适应不断变化的市场需求。集束型......

为有效解决450 mm晶圆制造中带有并行处理腔的集束型设备群调度问题,提出了基于产能约束资源(CCR)的调度方法。首先,综合考虑多品......