陶瓷微热板相关论文
NO2气体不仅是导致环境污染最为主要的污染源之一，而且它还是危化品安全检测中最重要的检测气体之一。它对人体的伤害极大，即使在短......
针对陶瓷基微热板MEMS器件难以微加工,器件表面加热Pt膜使用普通正性光刻胶难以实现光刻剥离的工艺难点问题,提出了激光微加工和柔......
热干扰特性是影响微热板气体传感器阵列热结构设计的重要因素之一。为探讨微热板阵列传感器单元之间的热力学特性关系,设计并制备......
目前,我国是世界最大的能源化工原料的生产和消费国家。能源与化工原料的生产和运输安全形势非常严峻,能源化工领域危化品泄漏爆炸......
针对传统硅基微热板半导体气体传感器存在的热稳定性差,工艺复杂等难点,采用良好热导特性的AlN陶瓷为衬底,利用柔性机械剥离工艺和......
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针对目前商用陶瓷气体传感器功耗大、封装困难等缺点,提出一种陶瓷微加工微热板式气体传感器的结构和无内引线封装的方式。通过光......
