【摘 要】
：
针对陶瓷基微热板MEMS器件难以微加工,器件表面加热Pt膜使用普通正性光刻胶难以实现光刻剥离的工艺难点问题,提出了激光微加工和柔性机械剥离相结合的微加工方法。以Al N陶瓷
【机 构】
：
哈尔滨理工大学测控技术与通信工程学院测控技术与仪器黑龙江省高校重点实验室
论文部分内容阅读
针对陶瓷基微热板MEMS器件难以微加工,器件表面加热Pt膜使用普通正性光刻胶难以实现光刻剥离的工艺难点问题,提出了激光微加工和柔性机械剥离相结合的微加工方法。以Al N陶瓷为衬底基片,采用激光微加工技术实现热隔离刻蚀体加工,刻蚀梁宽可达0.2 mm。采用柔性机械剥离工艺制备方法解决普通正性光刻胶形成倒梯形凹槽Pt膜难实现图形化问题,可在复杂表面特性的陶瓷基衬底上实现Pt膜剥离线宽10μm。同时利用有限元法进行传感器阵列设计和热结构仿真,验证设计工艺的可行性。
其他文献
多效唑是一种新型植物生长延缓荆，经过两年试验结果表明，在大豆盛花期喷施，可以使植株高度显著降低，喷施后8d可降低16～20cm，成熟期可降低40—41cm，同时也可使结荚高度降低12～13cm，而且
晋豆36是山西省农科院小麦研究所与临汾市尧都区种子公司合作育成，简要介绍晋豆36特征特性、产量表现及栽培技术。
对氟磺·稀禾啶乳油对大豆田杂草的除草效果及安全性进行试验。结果表明：20．8％的氟磺·稀禾啶乳油能有效防除大豆田的稗草、藜、苋、苘麻，防效为90、3％以上，对刺菜的防效为
针对上升流引起的微弱信号在A/D转换前容易被传感器系统噪声所淹没的问题,将滤波、放大和A/D转换电路采用集成芯片AD7195处理,减少分立器件噪声,AD7195芯片内部集成差分放大器、交流激励和数字滤波器,同时具有24位高精度A/D转换功能。通过搭建实验装置,采集数据和分析,测试了系统准确度。实验结果表明:该系统能够识别输入信号的误差为±0.4μV,满足设计要求。
采用田间小区试验，研究了施钼对夏大豆农艺性状，产量及品质的影响。结果表明，施钼明显促进了夏大豆株高和底荚高的增长，增加了夏大豆的百粒重，总荚数和单株籽粒重，提高了夏大豆产量
从大型起重机械结构健康监测的实际应用出发,结合无线传感器网络分布式、高鲁棒性的特点,设计了一种基于Zig Bee的可对大型起重机械长期在线监测的无线传感器节点系统,并结合
为消除温度波动变化对风速测量带来的影响,能更有效、稳定地测量风速,设计一种计数式光纤Bragg光栅(FBG)风速仪。风速仪采用风杯结构,在风杯转轮上设置转速凸轮,粘贴有FBG的等强度悬臂梁与转速凸轮组成计数装置。基于风杯转速与风速呈线性关系建立了传感模型,根据中心波长变化次数进行计数,从而计算出风速,实现了对风场内风速实时监测。风洞试验表明:计数式FBG风速传感器的起动风速为0.9 m/s,线性度
提出了一种基于腰椎放大熔接和光纤Bragg光栅(FBG)的热线式风力计,传感结构由表面镀金属银膜的FBG和腰椎放大光纤熔接点构成。腰椎放大熔接点将高功率的泵浦激光由纤芯耦合到光纤包层,被镀银膜吸收产生热量,从而使FBG的温度升高。当气流经FBG时,部分热量会被带走,导致FBG的温度降低。FBG的中心波长随温度的变化而变化,因此,通过测量FBG波长的漂移即可以测得气流速度。实验结果表明:此FBG热线
设计了一种面向大流量应用的硅微阀流控芯片,基于电热耦合理论对芯片中的V型电热致动器进行了优化设计。通过构建温度分布的优化模型,对硅微阀流控芯片中V型致动器进行了变截