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该文采用多路感应偶合等离子体(ICP)刻蚀系统制备了硅微孔列阵，采用LPCVD制作了连续打拿极，得到具有一定性能的硅微通道板。分析讨论......
概述了传统还原铅硅酸盐玻璃微通道板（RLSG-MCP）及其特点以及MCP的新发展；介绍了材料的二次发射特性，给出了传统MCP薄膜连续打拿极结构......
本文阐述了MCP连续打拿极传统的制备方法，并提出采用半导体技术制备Si—MCP连续打拿极的新途径，通过对比进一步总结出采用新方法制备......
硅微通道板是90年代以后提出的一种全新的基于半导体工艺技术而形成的图像增强器件。与传统的玻璃微通道板相比,硅微通道板在技术......
先进技术微通道板（Advanced Technology Microchannel Plates，AT-MCP）是美国伽利略公司90年代中期提出的一种全新的微通道板制作技术......
