表面微机械技术相关论文
本课题面向需求日益增长的TPMS(Tire Pressure Monitor System)市场,研发具有自主知识产权的集成传感器芯片,形成自己的核心技术,......
利用表面微机械技术,成功制作了1.3μm Si基MOEMS可调谐光滤波器.原型器件在50V的调谐电压下,调谐范围为90nm.该技术可以用于制作1......
采用表面微机械技术制作了一种1310nm基于InP／空气隙分布布拉格反射镜的微机械可调谐Fabry—Perot光滤波器。该滤波器的通光孔直径......
表面微机械加工是一种使机械部件微型化的工艺。传感器和致动器都是利用改进的集成电路制造技术来完成的。第一个表面微机械器件是......
利用表面微机械技术，成功制作了1．3μm Si基MOEMS可调谐光滤波器。原型器件在50V的调谐电压下，调谐范围为90nm。该技术可以用于制作1．3......
提出了一种在线测试表面加工多晶硅薄膜热导率的结构，推导了热学模型，给出了测试方法，用ANSYS验证了热学模型，该方法避免了测试结构放......
MEMS和光学的结合（MOEMS）给传统光学器件的设计和制造带来了全新的思路,它具有性能灵活、低成本、尺寸小和易于批量生产等优点。本课......
文中介绍了一种以表面微机械技术制造的带有片上静电自检测功能的压阻式加速度传感器。该芯片制造利用了表面微机械加工技术,以低......
