碳氟等离子体相关论文
介绍了射频感性藕合C4F8等离子体的离解和电离机制;F、CxFy和离子等活性粒子及其比例的演化规律;初级与次级反应、背景气体的充裕......
本文采用了碳氟感应耦合等离子体对SiO介质进行刻蚀并通过改变源气体流量比R(R=[CF]/{[CF]+[Ar]})、射频源功率、自偏压等条件对其......
显示和发光技术的发展使得应用于光源的白光发射材料得到高度关注。近年来，人们发现非晶SiOxCy、非晶SiC∶H以及非晶Si∶C∶O∶H材......
高聚物界面的能量、结构等性质，对理论研究和实际应用都是极为重要的．因为许多聚合物材料都具有一个或多个界面的多相结构，这些界面的......
利用ＣＦ４与ＣＨ４／ＣＦ４等离子体来处理涤沦膜，讨论了不同摩尔比的碳氟等离子体改性ＰＥＴ表面的作用机制。利用变角Ｘ光电子能谱和接触角测试技术研究了改性......
采用ＣＨ４／ＣＦ４混合气体等离子体来处理ＰＥＴ表面，利用变角ＸＰＳ改性后ＰＥＴ的表面改性层的组分随取样深度的变化。结果表明，碳氟混合气体等离子体在ＰＥＴ表面形成交......
利用静，动态接触角及变角ＸＰＳ来研究碳氟气体等离子体处理ＰＥＴ表面的浸水行为，结果表明碳氟等离子体处理的ＰＥＴ浸水后，其表面的憎水性下降。通过ＰＥＴ表......
利用变角ＸＰＳ方法研究不同磁场条件下碳氟等离子体对ＰＥＴ表面的改性，并探讨了磁场对碳氟等离子体聚合的影响。......
目前,碳氟等离子体被广泛用在器件的微细加工过程中,如沉积低介电常数的氟化非晶碳薄膜,刻蚀SiO2、Si 以及其它相关材料。由于器件......
