硅烷法相关论文
太阳能是一种可以再生的清洁能源值得人们重视,开发太阳能的资源成为大趋势,太阳能的发电技术认为是目前世界上发展前景较广阔的新......
利用硅烷法将ssDNA固化T方向切割、3.58MHz和10MHz石英晶体金电极上,构建了压电DNA传感器,建立了快速检测葡萄球菌肠毒素B(SEB)基......
近年来,由于国内外大型多晶硅生产企业的不断扩张,使得多晶硅由过去的暴利阶段进入了品质和成本的竞争阶段。硅烷法生产多晶硅具有......
介绍了多晶硅的主要生产方法即西门子法、硅烷法和冶金法,分析了国内外的相关研究者的研究成果和研究动向。在综合分析了这些方法......
讨论了国内外在多晶硅生产方面的主要技术——改良西门子法工艺,针对硅烷流化床法和气液沉积法做了技术性分析,为我国多晶硅在硅烷......
论述了当前生产高纯多晶硅的方法,对一些方法进行了比较分析。高纯多晶硅生产方法主流是改良西门子技术。分析了新技术的发展状况,......
本文在基于异型热管传热的3对棒CVD反应器流场研究的基础上,将底盘电极数放大至9对,计算对比表明:9对棒CVD反应器体积增大了52.7%,......
<正>1晶体硅材料和硅片研究进展1.1晶体硅材料发展概况硅材料是半导体工业中最重要且应用最广泛的半导体材料,是微电子工业和光伏......
多晶硅是单质硅的一种形态。熔融的单质硅在过冷条件下凝固时,硅原子以金刚石晶格形态排列成许多晶核,如果这些晶核长成晶面取向不......
<正>·硅在自然界中分布极广,地壳中约含27.6%,仅次于氧。·冶金级硅是二氧化硅与焦炭在电弧炉中反应形成,其纯度在97%～99%,用于冶......
对在线高纯多晶硅生产制备技术——改良西门子法和硅烷法的制备工艺进行了概述,比较了两种在线技术的优缺点,对两种在线技术的发展......
介绍硅烷法制多晶硅的生产工艺及生产过程,分析生产过程中的主要危险品的理化性质。从厂区布局、电气设备、报警系统、灭火系统等......
<正> 什么是可控硅(一)可控硅的特点和作用可控硅是最近几年出现的一种新型的半导体器件,它的全称叫可控硅整流器,其特点是,能够把......
还原高频电源技术、硅烷流化床法和气液沉积法,可与改良西门子法工艺技术有机结合生产多晶硅,对解决目前国内多晶硅所面临的生产成......
本文综述了硅烷热解法制备多晶硅的几种工艺,特别是对于硅烷的制备方法进行了详细的探讨。如Komatsu硅化镁法、碱金属氢化物中的硅......
随着电子信息和半导体产业迅速发展,工业上对高纯的区熔级多晶硅需求量大大增加。然而传统西门子法还原得到的多晶硅大部分只能达......
硅烷法生产高纯硅和用硅烷沉积硅膜广泛应用于高纯硅生产和器件制造中。本文综述了文献资料对硅烷热分解动力学、汽相沉积硅膜(CVD......
