硅微机械传感器相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

硅微机械传感器相关论文

应用于硅微机械传感器芯片级金-金键合技术研究

　　本文提出了一种可以解决硅微机械传感器常规高温键合引起掺杂的再分布，热效应带来的应力以及温度超过硅铝共晶点引起器件失效等......

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硅微机械传感器芯片级封装制造工艺器件制造键合温度器件失效键合强度加速度计

脊型光波导技术在硅微机械传感器中的应用

该文介绍一种脊型光波导与悬臂梁相结合的传感器新结构，利用这种结构实现了全光型流量传感器和带尾纤的全光型光激励微机械谐振器，并......

会议

光波导技术硅微机械传感器微机械谐振器全光型流量传感器脊型光波导实验研究新结构测试曲线悬臂梁光激励尾纤理论

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