直流辉光放电相关论文
尘埃等离子体是指包含大量纳米或微米量级尘埃颗粒的复杂等离子体系统。等离子体中尘埃颗粒的引入能显著改变等离子体的很多参量与......
尘埃等离子体是由电子、离子、中性分子和大量带电尘埃颗粒组成的复杂等离子体系统,其广泛存在于空间环境、实验室以及半导体加工......
采用直流辉光放电等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术方法 ,在Si(100)衬底上制备了金刚石薄膜 ,并在此基础上合成了含有少量晶态......
超纳米金刚石(Ultra-nanocrystalline diamond,UNCD)是一种晶粒尺寸小于20nm的新型纳米金刚石材料,具有极其光滑的表面、极低的表......
随着低温等离子体化学的发展，等离子体精炼方面的研究正越来越引起人们的重视。本文研究了冷等离子体强化金属熔体精炼的效果和机理......
本文主要采用流体动力学的方法，系统地对直流辉光放电、射频辉光放电鞘层区域各个等离子体参量进行了有效的建模和求解，得到了理想的......
本论文的研究分为两部分,第一部分是非脉冲直流辉光放电等离子体降解水中染料的研究,第二部分是对苯二甲酸的新合成路线研究。 ......
大气压低温等离子体凭借其低温与非平衡特性，以及无需真空装置的优势，已被广泛用于薄膜沉积、表面改性、生物医学、臭氧生成和污染治......
该工作采用蒙特卡罗(MonteCarlo)方法对氮气直流辉光放电阴极位降区内的电子及主要重粒子(N,N,NN)运动规律进行了模拟研究.计算结......
提高金属管内表面的硬度、耐磨性、抗蚀性等性能有着重要的工业应用价值。我们针对内径小于10 mm的金属管开发了一种利用直流辉光......
随着微电子工业的发展，辉光放电技术的应用领域越来越广泛。作为产生等离子体的一种主要的方式，长期以来，国内外学者从多方面对辉光放......
采用低气压氩气直流辉光放电等离子体对PVC细管内表面进行了处理,使其内表面亲水性得到显著改善,且处理效果均匀.处理时间越长PVC......
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生......
该文研究尘埃粒子在直流辉光放电阴极鞘层中的运动特性及悬浮位置。比较无碰撞鞘层和碰撞鞘层发现，尘埃粒子在碰撞鞘层中的悬浮位置......
利用直流辉光放电等离子体辅助的脉冲激光沉积技术在Si衬底上生长了碳氮薄膜 .通过扫描电子显微镜、X射线衍射、X射线光电子能谱、......
研究了Xe/I2 混合气体 (气压 70～ 1330Pa)在直流辉光放电情况下XeI 准分子的形成过程 ,得到了XeI 准分子在 2 40～ 2 70nm波长范围......
HL-2A是一个具有磁孔栏和轴对称编滤器的托卡马克装置,其真空抽气系统提供了装置真空室从大气到烘烤,直流辉光放电清洗所需要的抽......
阐述具有长正柱区的直流辉光放电工作电压与放电电流或工作气压之间的滞后效应即双稳态现象的实验研究工作.......
阐述直流辉光放电正柱区轴向不均匀性和不稳定性的实验研究工作....
介绍了HL-2A装置真空系统研制.它由真空主抽气系统、抽气偏滤器、直流辉光放电清洗系统组成.主抽气系统提供了装置真空室从大气到......
采用蒙特卡罗模型对氮空心阴极放电等离子体鞘层离子（N2^＋、N^＋）的输运过程进行了模拟研究．计算了阴极鞘层中氮离子（N2^＋、N^＋）的能量及角分......
采用直流辉光放电化学气相沉积设备,以H2/CH4/Ar混合气体为工作气体,在2英寸硅片沉积出了晶粒尺寸为20~40 nm的纳米金刚石薄膜。采......
半导体泵浦氩原子气体激光器是一种使用电激励和半导体激光两级泵浦的新型气体激光器,具有光束质量高、量子效率高、良好的大气传......
本文报道了氮气气压分别为10和20 Pa时,对直流辉光放电的发射光谱进行测量和分析的结果.选择的研究对象为N2放电中形成的N+2 B2Σ+......
利用发射光谱法对金属管内形成的稳定氩氮直流辉光等离子体进行了诊断。通过对等离子体发射光谱谱线的研究确定了等离子体中的活性......
采用粒子模拟与蒙特卡罗相结合的方法，通过编写三维的直流辉光放电电离的模拟程序，对其中的电子进行了研究，得到了直流辉光放电中电子......
本文介绍了一种采用直流辉光放电的氮原子离子束源的设计,对放电参数进行了分析,根据离子束流的质谱测量可知,氮离子束中N+与N+2之......
建立了一维氩气直流辉光放电自洽流体模型,采用对流与扩散方程来描述带电粒子在间隙中迁移、扩散以及电子的能量变化过程,并考虑了......
朗缪尔探针诊断教学实验结合等离子体物理学科发展特色,针对直流辉光放电正柱区,同时设计了朗缪尔单探针和双探针的诊断实验.实验......
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高气压、大电流直流辉光等离子体化学气相沉积方法能够快速沉积高品质金刚石膜。然而，高气压下直流辉光放电和以往的低气压直流辉光......
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辉光放电在微电子工业中的应用越来越广泛.为了研究直流辉光放电稳态等离子体的特性,采用粒子网格方法（PIC 法）与Monte Carlo 碰撞模......
通过对霓虹灯中的惰性气体氦、氖、氩气体进行直流辉光放电研究,结合等离子体粒子模拟实验（PIC）,模拟分析了氦（He）、氖（Ne）、氩（Ar）在直流......
以直流辉光放电激发氮分子,采集了氮分子C3Пu→B3Пg跃迁的荧光发射谱,在此基础上计算了氮分子C3Пu态的振动基频,得到上能级C3П......
小尺径聚氯乙烯(PVC)软管具有很多优异性能,例如光滑、质量轻、耐腐蚀和价格低廉等,因此已被广泛应用于医学领域。对内径小于5mm的......
<正>本工作研制了一台可在线测定氢同位素含量的原子发射光谱仪。该光谱仪由直流辉光放电光源、光谱仪和数据处理系统组成。氢的巴......
随着微电子工业的发展,辉光放电技术的应用领域越来越广泛,例如:它可用于表面刻蚀、表面改性以及薄膜沉积等材料加工方面,它还可以......
电弧离子镀是把真空电弧用于电弧蒸发源的镀膜技术。脉冲偏压电弧离子镀技术是90年代来发展起来的一项技术。脉冲偏压的引入尽管只......
本论文分别利用发射光谱技术和激光诱导荧光光谱技术对介质阻挡放电和直流辉光放电等离子体中OH自由基等活性物种进行诊断研究,主......
高气压(100Torr-760Torr)直流辉光放电等离子体,由于气压高,粒子间碰撞频率大,具有较高的温度而接近热平衡状态,使这种等离子体具......
由于我实验室正从事氮气直流辉光放电磁控溅射石墨靶生长CN膜的研究，作为该课题的一部分，我们的目的是利用发射光谱法测量氮气直流辉......
研究了直流辉光放电中各区域的特性，测量了正柱区的等离子体参数，阐述了利用直流辉光放电正柱区等离子体对高分子材料进行表面改性时......
