溅射过程相关论文
近年来,以集成电路为主要方向的半导体相关产业得到了较快的发展。集成电路电路技术的进步离不开半导体制造工艺的逐步改进,而磁控......
溅射离子泵又称潘宁泵,是一种广泛用于超高真空系统中的清洁真空泵。溅射离子泵阳极筒空间中的电子在电磁场的作用下与气体分子碰......
本论文基于凝聚态物理中的粒子集体响应观点，详细论述了快离子撞击导致的电子密度波动、热力学相变以及溅射过程。 将快离子入射......
本文通过引入溅射模型，对溅射过程进行了推导与计算，得到溅射速率的解析式，与Ｒｏｌｅ等人所得公式比较表明，本文所得公式能更好地述溅射过程，并......
运用Monte Carlo方法对溅射过程进行了模拟计算,其结果清楚地描述了溅射的微观过程,溅射产额的计算值与实验值吻合。......
碰撞过程(impact,bombardment,collision)难免崩出来一些物质,于是就有了sputter,splash,spatter,spurt等物理上也算常见的词汇,它......
<正>一、磁控溅射原理概述磁控溅射是刚刚在国内崭露头角的一种金属膜淀积技术.它是取代电子束蒸发的一种新技术.其工作原理是在被......
