机械刻划相关论文
机械刻划光栅在光栅的制作过程具有很重要的优势。然而目前对于刻划后的槽形出现弹塑性变形一直是当前研究的重要难点。因此如何控......
单晶硅晶圆衬底的直径增大、厚度减薄和集成电路(IC)制程减小是集成电路领域主流发展趋势。随着集成电路制程减小至5 nm,对单晶硅......
基于原子力显微镜（Atomic Force Microscope，AFM）的机械刻划是一种加工纳米结构的有效方法，学者们运用该加工方式已经在多种材料如聚合......
扫描探针显微镜(Scanning Probe Microscope，SPM)是扫描隧道显微镜及各种新型探针显微镜的统称，是国际上近年发展起来的表面分析仪器......
在有限元软件DEFORM中建立了金刚石弧形刻刀刻划光栅的数值模型,得到了刻划过程的刻划力曲线。通过数值模拟和正交试验方法,对刻划......
研究关于衍射光栅机械刻划的槽形精度控制问题。衍射光栅机械刻划是一种在超精密刻划机上利用金刚石刀具对光栅铝膜进行微细挤压的......
在衍射光栅机械刻划过程中,由于金刚石刻刀安装方位角等刻划工艺参数的变化,会引起弹性刀架-金刚石刻刀系统与光栅铝膜之间发生机......
研究了光栅机械刻划过程中弹性刀架和金刚石刻刀系统的摩擦型颤振机理.建立了光栅机械刻划摩擦型颤振动力学模型,并对颤振系统进行......
由于目前机械刻划衍射光栅加工仍依赖操作者经验,故存在成槽质量差、无法预控等问题。本文结合铝薄膜蒸镀工艺现状,采用X射线衍射......
衍射光栅是重要的光学元件,机械刻划过程中的过挤压现象在一定程度上会对其槽形质量产生影响。针对刻划过程中的过挤压现象,本文建......
为研究光栅毛胚材料在机械刻划过程中滞留区的产生及分布特征。基于LEE和SHAFFER提出的正交切削滑移线场理论模型,在机械刻划塑流......
为了探索在纳米尺度加工微纳米结构,MEMS/NEMS器件的新的加工方法,采用基于AFM改造的微加工系统,研究了探针机械刻划机理,分析了工......
长周期精密机械刻划过程中的检测和监控对于保证加工质量、节约时间和成本至关重要。针对机械刻划成形加工过程中传统机械刻划机所......
基于AFM（Atomic Force Microscopy）探针的机械刻划方法作为加工微纳米结构的重要方法，越来越受到学者们的关注，但是目前在以此方法加工......
学位
机械刻划光栅过程是一个十分复杂的过程,是由超精密金刚石刻划刀在镀有铝膜的玻璃、紫铜、无氧铜或不锈钢等毛坯上进行挤压、抛光,......
基于原子力显微镜（AFM）探针的机械刻划方法作为加工微纳米结构的重要方法，由于加工环境的限制使得对AFM在液体环境中的应用主要停留在......
