投影光学系统相关论文
恒星目标模拟器是模拟真实天空中恒星的位置信息而形成星图的设备,以满足星敏感器在实验室条件下进行功能检测和标定。为满足将所......
提出一种基于线性模型的光刻投影物镜偏振像差补偿方法。根据Hopkins矢量部分相干成像理论,推导了投影物镜含有偏振像差时交替型相......
早稻田大学理工学部应用物理学科的一个小组,研制成激光扫描型眼底检查装置,这一装置与以往用照明和频闪闪光灯照像的眼底照相机......
基于351nm XeF激光大面积投影成像光刻系统,通过对其光学系统包括光学照明系统和折叠投影系统进行光学性能测试。由激光经过柱面透......
为了测试风云四号气象卫星扫描成像辐射计的扫描镜的动态运动精度,设计了一种高精度动态测角仪。该测角仪利用了扫描成像辐射计的......
本文探讨了一种可应用于极紫外光刻光学系统的离轴五反射镜系统,它在光学质量、自由工作距离方面满足了极紫外光刻商业化的要求。......
介绍了含有棱镜系统的数字光处理器(DLP)投影仪连续变焦距远心镜头的设计,通过对DLP投影镜头与数字微反射镜器件之间的全反射棱镜系统......
根据测量风云四号气象卫星多通道扫描成像辐射计的扫描镜的动态运动精度是否达到1"的要求,设计了一种新型的高精度动态测角仪,该测角......
<正> 背投式彩电作为代替传统彩电的大屏幕电视,被国际市场公认为是高端电视产品。不仅具有普通电视所具有的一切功能,而且更加完......
针对红外成像系统的检测和评估需求,基于光学被动消热差原理,设计了一套用于中波红外仿真系统的投影系统。讨论了红外仿真系统所用......
基于数字微镜器件(digital micromirror device,DMD)的红外景象模拟器能够为红外系统性能测试与评估提供先进的手段。根据DMD的工......
本文介绍了一种长入瞳距、大视场红外目标模拟器投影光学系统的设计。该投影光学系统工作于中波红外波段,焦距为175.15mm,视场为......
设计了一种用于红外光电系统性能测试的目标模拟器的光学系统。原理上采用一个无焦系统与后聚焦系统的组合系统,利用Zemax光学设计......
CRT曝光式数码彩扩设备是近几年发展起来的光机电算一体化的高科技产品.它由四部分组成:计算机主机系统、光学系统、电控系统和彩......
光刻技术及其在产业中的开发应用一直是业界最关注的焦点之一。极紫外光刻成为了下一代光刻技术最有力的竞争者。然而,要实现商业......
宽波段红外景象仿真器可用于内场评价和验证中波/长波红外双波段成像仪。详细介绍了基于数字微镜器件(DMD)的动态红外景象仿真器的......
为了使红外场景投射器投射出的红外场景更加逼真,设计了一入瞳距800mm、入瞳100mm和视场为±2.5°的双波段红外场景投射器投影光学......
极紫外光刻(EUVL)是半导体工业实现32~16nm技术节点的候选技术,而极紫外曝光光学系统是EUVL的核心部件,它主要由照明系统和微缩投影物镜......
红外双波段景象模拟技术是当前红外模拟技术的重要发展方向之一,投影光学系统是景象模拟系统的重要组成部分。本文根据红外双波段......
数字微镜器件(DMD)动态红外(IR)景象模拟技术具有大动态范围、高空间分辨率、高帧频、空间均匀性好、体积小等特点,能够在实验室内......
本文针对动态红外景象模拟的应用需求,设计了基于数字微镜器件(DMD)的共轴红外双波段(中波3~5μm和长波8~12μm)景象模拟投影光学系......
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