微机电加速度计相关论文
主要分析变面积式微机械加速度敏感元件中的固定平行电极间寄生电容对系统噪声的影响，建立敏感元件的电磁仿真模型，进行噪声公式的推......
本文介绍了微机电惯性仪表的国际水平,以及清华大学精密仪器与机械学系的研制进展.叙述了所研制的微机电加速度计和微机电陀螺仪的......
为减缓阵风或紊流对飞机的扰动,提高飞行控制精度,设计了一种基于微机电加速度计实时测量机翼弹性变形量的测量装置。对测量原理进......
提出一种“三明治”电容式检测原理的闭环微机电加速度计敏感结构,并对该敏感结构基础电容及微机电加速度计量程、标度因数等主要......
为了实现破坏性地震强度的速报，提高地震应急响应效率，指导抗震救灾，设计一种新型地震烈度计。采用性价比较高的微机电加速度计MODEL-......
