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主要分析变面积式微机械加速度敏感元件中的固定平行电极间寄生电容对系统噪声的影响，建立敏感元件的电磁仿真模型，进行噪声公式的推导，并得到了实验验证。通过仿真分析发现，铝电极下的玻璃衬底是增大该寄生电容的主要因素。实验结果表明，该寄生电容会增加60％以上的系统噪声。
微机械加速度计中的寄生电容对噪声的影响
【摘 要】
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主要分析变面积式微机械加速度敏感元件中的固定平行电极间寄生电容对系统噪声的影响，建立敏感元件的电磁仿真模型，进行噪声公式的推导，并得到了实验验证。通过仿真分析发现，铝电
【机 构】
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浙江大学微小卫星研究中心
【出 处】
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传感技术学报
【发表日期】
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2013年1期
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