微型机械技术相关论文
＂微型机械＂顾名思义,是指直径在纳米级以及微米级等小级别的微型机电系统。因其具有体形小、噪声低等方面的优势,已经被广泛应用到了......
由于金刚石膜优异的力学、电学、热学及化学性质,使其成为MEMS中的微型传感器和微型结构的重要的首选材料。利用金刚石膜作为MEMS......
<正> 1.前言 近年来,由于半导体制造技术和扫描显微镜技术的进步,可人工制成微米级立体结构以及由1个1个原子组成的微细结构,总之,......
<正>一、微型机械加工技术概念微型机械加工或称微型机电系统或微型系统是只可以批量制作的、集微型机构、微型传感器、微型执行器......
<正>本田技研工业的子公司本田Engineering开发出了小型低成本角速度传感器.该传感器采用独立开发的微型机械技术,在不降低精度的......
