微光电子机械系统相关论文
摘 要：针对非本征F-P干涉仪式光纤声压传感器中的声压敏感薄膜性能提升，设计并制备了不同厚度和不同增敏环数的声压敏感薄膜结构。对......
概述了MOEMS光学系统的种类和特点,介绍了几种主要的MOEMS光学产品、机理和应用方向,阐明了其作为光电技术的前沿所具有的重要作用......
设计了一种新型结构的MOEMS阵列光开关，开关由上电极阵列、倾斜下电极阵列和准直光纤阵列三部分组成。上电极阵列利用（110）硅片制作，其......
概述微光电子机械系统（MOEMS）技术发展历史，分析其现状。以美国陆军研究开发和工程指挥部的“战略研究规划”中的7个研究领域为例，分析......
微光电子机械系统(MOEMS)扫描镜凭借其在成本、功耗和封装上的优势,在军民用多领域都有广泛的应用前景。在分析MOEMS扫描镜的分类......
概述了晶圆键合技术(WB)和微电子机械系统(MEMS)的新进展.介绍了晶圆键合工艺、技术要求、应用选择以及对MEMS的作用;展示了MEMS制......
