微位移机构相关论文
压电陶瓷驱动器在较高电场的作用下将产生严重的非线性，从而影响其定位精度。压电陶瓷驱动器的非线性不仅与材料的非线性、蠕变、滞......
文章阐述了双平行柔性四杆机构的良好导向性能，求解了直圆型柔性铰链的转角刚度。通过拉格朗日方程得到系统的振动微分方程，从而......
三维立体显微成像技术是机器视觉研究的一个重要方向,具有重要的实用价值,但是普通的三维显微技术存在着景深小、移动精度低、采集......
精密制造、测量和微操作技术已经逐渐成为现代先进制造业的重要支撑。作为关键技术之一，精密定位技术在精密制造和科学研究中占有极......
在光刻机的研发和制造过程中，最重要的课题之一就是设计制造出满足纳米加工需求的超高精度微位移机构。纳米加工技术的发展，尤其是各......
本文根据“二元光学激光直接写入设备”课题的需要，对一种纳米分辨力微位移机构进行了研究。 通过查阅大量相关文献资料，提出了以......
以微位移机构及数控印制板钻铣床中遇见的问题,根据机床运动件在做低速微位移进给时出现的机械爬行现象,从其机理影响因素,提出相......
微机电系统、超精密加工等众多领域飞速发展且都需要高灵敏度的微位移致动设备．微位移技术有着广阔的应用背景。而压电驱动由于结构......
介绍了一种精度高、性能稳定、结构简单的二维微动工作台微位移机构的工作原理及其设计;着重分析了为消除机构间隙和工作台爬行,提......
本文总结了长光程大气模拟池中微位移机构的设计工作。文中对微位移机构的设计依据、功能、主要技术参数及机构的传递函数作了详细......
本文对二维微动工作台的一些关键技术进行了理论分析,并借助于ANSYS软件建立了二维微动工作台的有限元模型,采用有限元分析方法,对......
通过对能够获得较小位移,具有较高的定位精度和重复精度的弹性导轨及柔性铰链进行结构和运动特性分析,尤其对不同结构的弹性片簧导......
利用压电陶瓷致动器作为驱动元件设计了X－Y两自由度精密定位工作台，并利用有限元分析法对机构进行了优化设计，采用电阻应变片作为微位......
在分析对比了两种典型柔性铰链机构运动特性的基础上,设计了一种无耦合位移、应力集中低的改进复合双平行四杆机构,并用该机构构成......
微位移机构是精密机械和精密仪器的关键部件之一。介绍了一些典型的微位移机构的结构、原理、特点和应用，并对这些机构进行了比较。......
文章介绍了一种新型微步进旋转驱动器,该驱动器核心元件采用螺旋原理,用定子内箝位的方式和均布薄壁柔性铰链微变形结构;根据分析......
我们建立了一套系统用来驱动冲击式微位移机构并实现数据的实时采集和分析，测定了叠片式压电元件的有效矿井民常数，比较了锯齿波和抛......
研究了稀土超磁致伸缩材料（Ｔｂ０．２７Ｄｙ０．７３）Ｆｅｌ．９（商品名为Ｔｅｒｆｅｎｏｌ－Ｄ）微型移机构的设计方法，建立了基于Ｔｅｒｆｅｎｏｌ－Ｄ棒的高速强力微位移机构的动态响应科技司模型，对该模型进行了计......
柔性铰链微位移放大机构的性能分析,通常采用柔度静力学分析方法,该方法分析过程复杂,柔度计算量大.为此,提出一种新的分析方法,将......
本文报道与光学显微镜（ＯＭ）结合的原子力显微镜（ＡＦＭ）及其冲击式微位移机构（ＩＤＭ），采用ＯＭ及ＣＣＤ摄像机，可在５５０μｍ×４５０μｍ范围内监控微悬臂和样品，通过ＩＤＭ机构可将样......
微动工作台是微机电系统及其制造设备中的重要部件.文章结合电致伸缩陶瓷驱动器和杠杆柔性铰链机构,论述了二维微动工作台微位移机......
针对某缸体缸孔精加工工序,设计了刀具磨损自动补偿镗削结构,详细阐述了微位移机构的组成与原理,微位移机构精度可达±1μm,径......
结合电致伸缩陶瓷驱动器和杠杆柔性铰链机构,论述了二维微动工作台微位移机构的设计,建立了微位移机构的机电耦合模型.分析了机构......
在精密和超精密加工与测量、大规模集成电路制造、微型机械制造、扫描隧道显微镜微测量以及精密光学工程等诸多尖端科技领域中,当......
介绍一种在高精度下兼有高频响和大行程特性的微位移装置。该微位移装置的单项性能指标达到行程２ｍｍ，频响４００Ｈｚ，精度０．３μｍ。这种微位移装置特别适......
分析了由于反射镜倾斜导致的可调谐F-P（Fabry-Perot）滤波器失谐。设计了一种柔性铰链式微位移机构，由压电陶瓷驱动，采用平行四连杆机构......
压电陶瓷驱动器在精密微位移系统中有着广泛的应用,但其固有的迟滞非线性严重影响系统的运动精度,使控制困难。通过数学建模方法建......
微位移技术是精密机械和仪器实现高精度的关键技术之一.介绍了一些典型的微位移机构的结构、原理、特点和应用,并对这些机构进行了......
以研制光电子器件多自由度耦合对准系统所需仿真与优化软件包实际需要出发，以多体系统动力学为理论依据，研究开发了具有自主知识产权......
介绍了高频响大行程微位移机构研究的背景、结构特点、闭环系统的设计，以及在非圆截面零件数控车削中的应用。解决高频响与大行程之......
研究了稀土超磁致伸缩材料 (Tb0 .2 7Dy0 .73)Fe1 .9(商品名为Terfenol D)微位移机构的设计方法 ;建立了基于Terfenol D棒的高速强......
研究了稀土超磁致伸缩材料 (Tb0 .2 7Dy0 .73) Fe1 .9(商品名为 Terfenol- D)微位移机构的设计方法 ;建立了基于 Terfenol- D棒的......
针对传统机械式微位移机构无法达到很高的定位精度,设计了一种用于实现精密定位的压电陶瓷驱动的微位移机构。给出了该机构柔性铰......
压电陶瓷驱动器在较高电场的作用下将产生严重的非线性,从而影响其定位精度。压电陶瓷驱动器的非线性不仅与材料的非线性、蠕变、......
超精密进给系统是保证零件尺寸加工精度的重要因素。文中以压电陶瓷作为驱动器构建了微位移机构,讨论了系统的总体结构,研究和分析......
隧道传感系统是基于量子隧道效应,用以测量纳米级微小测量量的传感装置。其中微位移机构的设计对传感器的整体尺寸、量程、精度等......
本文在简要介绍几种微位移机构以后,介绍了压电陶瓷及压电陶瓷微位移器。作者通过对所用压电陶瓷微位移器的性能进行测试和分析,指......
采用正交试验法安排单自由度微位移机构柔性铰链的结构设计参数,运用有限元分析方法,建立该微位移机构的三维实体模型进行仿真计算......
我们建立了一套系统用来驱动冲击式微位移机构并实现数据的实时采集和分析，测定了叠片式压电元件的有效压电常数，比较了锯齿波和抛物......
衍射光栅是一种精密的分光元件,是各种光谱仪器的核心器件。目前,天文物理学以及高能激光脉冲等研究领域所需的光栅已达到了米量级......
针对传统压电陶瓷器件应用于微位移技术中难以实现高精度的问题,提出了一种柔性铰链微位移机构,对该机构的运动特性进行了理论分析......
