反射镜基片相关论文
用原子力显微镜对不同工艺下获得的超光滑反射镜基片进行了功率谱密度(PSD)检测,并对结果进行分析,以指导光学元件加工。
Atomic ......
内容简介:该加工技术研究在国内外首次提出超光滑光学表面波度及对光散射的影响,提出古典光学抛光工艺本身是波度形成的最......
本文介绍了激光陀螺反射镜基片的加工工艺和检测方法。基片表面粗糙度必须小于０．５ｎｍ（ＲＭＳ）。作者研制出几批基片样品，对加工工艺进行了探索，对国......
分析了超光滑反射镜基片的表面波度对反射率的影响。利用Form Talysurf轮廓仪和高分辨率激光轮廓仪对经古典抛光法加工的基片进行......
本文在实验研究的基础上论述了超光滑反射镜基片的精密抛光技术。通过抛光模、抛光液、抛光压力、抛光速度等对抛光质量影响的研究......
