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本文介绍了激光陀螺反射镜基片的加工工艺和检测方法。基片表面粗糙度必须小于０．５ｎｍ（ＲＭＳ）。作者研制出几批基片样品，对加工工艺进行了探索，对国内外的基片样品和反射镜进行了测定和比较。文中对超光滑表面加工工艺和测量方法做了比较分析，介绍了改进的加工工艺，提出了基片的检测方案。
激光陀螺反射镜基片的加工和测量
【摘 要】
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本文介绍了激光陀螺反射镜基片的加工工艺和检测方法。基片表面粗糙度必须小于０．５ｎｍ（ＲＭＳ）。作者研制出几批基片样品，对加工工艺进行了探索，对国内外的基片样品和反射镜进行了测定和比较。
【机 构】
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清华大学
【出 处】
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仪器仪表学报
【发表日期】
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1995年S1期
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