化学过滤器相关论文
可凝结物是电子洁净室内一种常见的气态污染物,它不仅会腐蚀洁净室的产品和设备,还会降低工艺的精度,造成巨大的经济损失。目前洁......
基于理论推导和相关实验，给出了平板型和W型褶型碳布式化学过滤器的阻力预测公式。研究显示：克重为600～1 000 g/m~2的夹碳布的阻力为2......
阐述ITRS和IRDS的要求,洁净室空气净化系统对粒子浓度、气态污染物的管控均有严格要求.洁净室的主流净化技术包括风机过滤单元、高......
电化学过滤器因具有良好的省时和节能的特性而被广泛用于水质净化中。本研究提出了一种利用多壁碳纳米管(CNTs)电化学滤膜在单体系......
以我国某新建的半导体晶圆厂洁净室气态化学污染物测试结果为例,利用长期在线检测和现场实测相结合的方法,完成了从建造到洁净室空......
21世纪,我国国家半导体制造整体实力突飞猛进,随着半导体工艺不断的进步,线宽从1um提升到90nm以下,再到大规模量产的28nm和14nm工......
对大型客机座舱通风用化学过滤器和工业洁净厂房通风用化学过滤器进行了效率、阻力、容污量等性能的测试和对比,得出航空化学过滤......
分析铜冶炼生产环境中空气含有大量浓度较高的腐蚀性气体、导致ZH型多级离心压缩机主要零部件腐蚀的问题，介绍CAFH化学过滤器的主要......
本文介绍了化学过滤器的净化原理、吸附材料、结构,以及在实验动物房排气及循环风中的应用,它能有效去除动物房中产生的有害气体和......
分析了SO2对半导体封装工艺的危害,并结合公司示范组装线自投产以来,一直存在净化间SO2浓度波动较大的现象,对示范线净化间内SO2的......
在半导体行业,空气中的悬浮气态分子污染物对于制程的潜在危害越来越受到人们的重视。目前,在通风系统中使用化学过滤器是去除AMC......
随着半导体工业的飞速发展,最小线宽的尺寸越来越小,进入纳米级时代,从而相应的对洁净室环境的控制越加严格。洁净室环境内的悬浮......
对预浓缩气相色谱质谱在半导体洁净室VOC（Volatile Organic compound,挥发性有机化合物）管控中的应用进行了系统的归纳和总结。主要......
在半导体业中,对生产作业环境要求极为严格,其中对AMC(AirborneMolecularContami-nation)有更严格的控制要求。SO2和NH3属于AMC中......
本文重点对粒状活性碳过滤器和活性碳纤维过滤器在过滤水和空气时的性能进行了对比,同时对比了粒状活性碳和活性碳纤维的特性及结......
