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基于扫描探针的微细加工技术作为一种无掩模的扫描微细加工技术，因其所需设备简单和加工精度高达纳米量级，目前已在纳米机械加工等诸......
文章综述了扫描探针刻蚀技术的最新研究进展，并介绍了扫描探针刻蚀加工机理。...
利用低压水射流辅助激光刻蚀加工技术对多晶硅进行刻蚀加工,通过正交试验分析了激光脉宽、频率、输入电流和水射流速度对加工表面......
针对常规数控刻蚀设备不便加工非标图形的问题,该文采用了一种图像边缘检测方法,自动生成待刻蚀加工图形的轮廓数据,供数控加工程......
大气压等离子体微射流是特征尺度在1mm以下、在常压和开放空间中以射流形式产生的微等离子体,它除了具有常规尺寸(数mm～数cm)大气压......
学位
球面调制靶是一种具有特殊构型的激光聚变靶,它对于研究惯性约束聚变(ICF)实验中的瑞利-泰勒流体不稳定性具有重要意义。球面调制......
