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划痕速率相关论文

划痕速率和晶向对6H-SiC单晶片划痕特征的影响

采用微纳米力学测试系统对6H-SiC单晶片开展了不同速率和不同晶向的划痕试验,对划痕的摩擦系数、划痕切削深度以及表面三维形貌进......

期刊

碳化硅晶片划痕速率晶向表面形貌

压头曲率半径对单晶硅和氮化碳薄膜径向纳动损伤的影响

单晶硅是微机电系统(MEMS)的主要结构材料,氮化碳薄膜(α-CNx)和DLC薄膜具有良好的机械性能,作为防护层薄膜已被广泛用于微机电系......

学位

纳动径向纳动 α-CN_x薄膜 DLC薄膜划痕速率微机电系统

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