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[会议论文] 作者:张通和, 来源:中国电工技术学会第六届学术会议 年份:1999
该文中着重分析了离子注入提高离子束加工效益的途径,离子束工业生产发展两头和未来离子束技术在国民经济中的重要作用, 也给出了NEVVA离子注入技术在工业化生产中的特点和生产......
[会议论文] 作者:李向阳,张通和, 来源:第三届中国功能材料及其应用学术会议 年份:1998
比较了经几种稳定化处理后的离子注入剂量为3×10ions/cmNb的Ti-48at,℅Al合金在900℃空气中的恒温氧化行为,用AES分析了稳定化处理前后注入元素Nb在合金基冰中的分布情况,用调XR...
[会议论文] 作者:梁宏, 张通和,, 来源: 年份:2004
研究用MEVVA源注入在浅PN结上合成硅化钛和硅化镍,并用扩展电阻仪分析其电特性及对PN结特性的影响。研究发现,在As注入P-Si后形成的PN结上注入Ti或Ni离子,并经过退火后,在样...
[会议论文] 作者:陈俊,张通和, 来源:’94秋季中国材料研讨会 年份:1994
[会议论文] 作者:梁宏;张通和;, 来源:97全国荷电粒子源粒子束学术会议 年份:1997
磁过滤弧源沉积系统是最新研制成功的可同时用于沉积金属膜和金属离子注入的系统,具有沉积速率快,离子种类多,离子能量可控等特点。该文首次利用磁过滤弧源沉积系统和快速灯光退......
[会议论文] 作者:吴瑜光,张通和, 来源:第六届全国固体缺陷会议 年份:1994
用高能沟道背散射分析技术对高能P注入Si、高能P和低能Ge注入Si和高能Si+P注入InP的辐射损伤分布和退火晶格恢复过程进行了分析。...
[会议论文] 作者:张通和,孙贵如, 来源:’94秋季中国材料研讨会 年份:1994
[会议论文] 作者:孙贵和,张通和, 来源:’94秋季中国材料研讨会 年份:1994
[会议论文] 作者:张通和;吴瑜光;, 来源:'2000国际表面工程与防腐蚀技术研讨会 年份:2000
利用金属离子与碳离子双注入可在金属表面形成陶恣化的复合层,取得了抗腐蚀和抗磨损优良特性。 研究了注入剂量和束流密度对这种复合层结构的影响,X射线分析结果表明,双注入可形......
[会议论文] 作者:张通和,孙贵如, 来源:第六届全国固体缺陷会议 年份:1994
[会议论文] 作者:王玉霞,张通和, 来源:'96中国材料研讨会 年份:1996
31该文采用C’+〉离子束注入单晶Si(100),经高温真空退火处理的方法制备晶态SiC薄层。注入能量和注入剂量分别为10keV,5×10〈’16〉ions/cm〈’2〉,和35keV,3×10〈’17〉ions/cm〈’2〉,在真空中(2.7mPa),,经700℃ ̄1050℃退火1小时,利用IR,XPS,XRD,TEM,SEM等分析方法,研究......
[会议论文] 作者:石万全,伍勇,张通和, 来源:第十届全国半导体集成电路、硅材料学术会 年份:1997
[会议论文] 作者:李岳,陶冶,张勤,张通和, 来源:2002年中国材料研讨会 年份:2002
本文研究了磁性材料/电介质材料A/B型纳米多层膜的吸波现象,提出了基于量子理论的自旋波损耗理论框架,即磁性材料/电介质材料A/B型纳米多层膜的吸波效果主要是通过铁磁层中的...
[会议论文] 作者:李国辉,朱德华,张通和, 来源:第六届全国电子束离子束光子束学术年会 年份:1991
[会议论文] 作者:马芙蓉,邓志威,张通和, 来源:第三届中国功能材料及其应用学术会议 年份:1998
研究人员对MEVVA强流金属离子注入Ti、Ta和C的碳钢的杭腐蚀特性进行了研究和比较。结果表明,经过Ta、C+Ta注入的碳钢的腐蚀电流密度比未经注入的碳钢降低了56℅~26℅,经过Ti、C+Ti......
[会议论文] 作者:刘世祥,伍勇,张通和, 来源:第八届全国发光学术会议 年份:1998
[会议论文] 作者:李岳,张勤,陶冶,张通和, 来源:2002年中国材料研讨会 年份:2002
用MEVVA(Metal Vapor Vacuum Arc)离子注入法对增强纤维进行表面处理,形成纳米尺寸的表面改性层,用表面纳米改性的纤维制作树脂基复合材料,并对纳米表面改性纤维增强树脂基复合材料的电磁学性能和吸波特性进行研究.研究表明:对增强纤维进行表面改性,可以有效改......
[会议论文] 作者:肖志松,易仲珍,张通和, 来源:第十一届全国半导体集成电路、硅材料学术会议 年份:1999
用MEVVA离子源将La离子注入到单晶硅中形成掺杂层,用XRD、SEM分析了掺杂层的物相和表面形貌。分析表明在强流离子注入后,掺杂层中有硅化物形成,且形成相的种类与注入离子剂量、束流密度及后续......
[会议论文] 作者:张旭,吴先映,张通和,张荟星, 来源:第二届表面工程技术产业化学术交流会 年份:2002
本研究利用磁过滤金属蒸汽真空弧(MEVVA)沉积设备制备无氢非晶金刚石薄膜,开展了不同衬底材料对非晶金刚石薄膜的制备及性能的影响,以开发非晶金刚石薄膜在耐磨损涂层方面的应用.......
[会议论文] 作者:吴正龙,王平,张通和,吴瑜光, 来源:第十二届全国电子束、离子束和光子束学术年会 年份:2003
XPS和硬度分析测试表明:利用MEVVA离子注入机在PET表面注入或沉积碳(C),表面形成了类金刚石薄膜.根据ClsXPS谱直接计算出了sp3的含量.与衬底PET相比,表面薄膜硬度提高了1个量...
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