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[学位论文] 作者：郑惟彬,
来源：合肥工业大学 年份：2000
厚膜微压传感器主要用于气体或液体的0~10KPa的微压力测量.在石化、冶金、电力、水文等行业压力、液位测量中广泛使用.此外,随着电子信息技术的发展,在农业、医疗、家电、空...
[期刊论文] 作者：郑惟彬,马以武,
来源：电子工艺技术 年份：2000
介绍了厚膜集成微压传感器的研制过程。此种集成微压传感器的量程为１ ｋＰａ、满量程输出为２５ ｍＶ、非线性小于０ ．２ ％ 、综合精度小于０ ．５ ％ 。...
[期刊论文] 作者：郑惟彬,李拂晓,等,
来源：微波学报 年份：2001
开关是微波信号变换的关键元件，和传统的半导体开关相比，射频微机电系统（RF MEMS）开关具有优良的高频特性和固有的重量轻、尺寸小、低功耗等优点，而且其制作工艺和传统的CMOS工艺......
[期刊论文] 作者：刘声雷,郑惟彬,
来源：安徽化工 年份：1999
本文介绍了一种可用于化工设备表面防腐的新材料－－类金刚石薄膜（ＤＬＣ膜）。文咄了ＤＬＣ膜的制备方法及主要工艺参数，我们做了有ＤＬＣ膜保护的防腐试验，结果表明：ＤＬＣ膜对酸碱的防护能力强，具有很大应用潜......
[期刊论文] 作者：郑惟彬,黄庆安,李拂晓,
来源：微波学报 年份：2002
MEMS开关以其固有的低功耗、低插损和低交叉调制损耗等特性,在微波领域表现出巨大的应用潜力.但是目前大部分的研究工作都集中在设计新型开关结构和开关制作工艺上,对开关力...
[期刊论文] 作者：郑惟彬,黄庆安,李拂晓,
来源：微波学报 年份：2001
开关是微波信号变换的关键元件。和传统的半导体开关相比 ,射频微机电系统 (RFMEMS)开关具有优良的高频特性和固有的重量轻、尺寸小、低功耗等优点 ,而且其制作工艺和传统的...
[期刊论文] 作者：郑惟彬,马以武,刘声雷,
来源：电子工艺技术 年份：2000
介绍了厚膜集成微压传感器的研制过程。此种集成微压传感器的量程为１ ｋＰａ、满量程输出为２５ ｍＶ、非线性小于０ ．２ ％ 、综合精度小于０ ．５ ％ 。The development of thick film integrated micro......
[会议论文] 作者：郑惟彬,黄庆安,金玉丰,李拂晓,
来源：第五届全国微米/纳米技术学术会议 年份：2001
目前对MEMS开关和移相器的研究非常活跃.但是大部分的研究工作都集中在设计不同形状的开关结构和开关制作上,对开关静电力模型的研究还十分不够.文章利用材料力学知识,通过合理的假设和简化,推导出双晶结构梁膜式开关的静电力解析模型,并详细讨论了开关阈值电压......
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