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开关是微波信号变换的关键元件，和传统的半导体开关相比，射频微机电系统（RF MEMS）开关具有优良的高频特性和固有的重量轻、尺寸小、低功耗等优点，而且其制作工艺和传统的CMOS工艺相兼容。本文较为详细地了串联悬臂梁开关、并联悬臂梁开关和膜开关的工作原理及典型的性能参数。由于其优越的微小特性，MEMS开关已在许多电路和系统中，包括微波前端电路、数字电容器组和移相网络中得到应用。