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[期刊论文] 作者：宁瑾,刘忠立,赵慧,
来源：电子器件 年份：2002
本文对近几年来运用单片制备方法,采用硅微机械加工技术(MEMS)工艺研制的电容式微传声器进行了详细描述.通过分析和研究指出,将微传声器与其外围电路集成在单片上可降低器件...
[会议论文] 作者：宁瑾,刘忠立,高见头,
来源：第十三届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议暨第九届全国固体薄膜学术会议 年份：2004
本文在n型4H-SiC外延层上,采用H、O合成的办法,热生长300A的SiO层,并制备出Al栅MOS电容,完成了C-V特性的测试和分析工作,根据测试结果得出了SiO与4H-SiC外延层的界面特性,并计算出n型4H-SiC外延层的掺杂浓度.结果表明H、O合成热生长的SiO与4H-SiC外延层之间具有......
[会议论文] 作者：宁瑾,张杨,刘忠立,
来源：第十四届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议 年份：2006
本文在半绝缘4H-SiC衬底上成功制备出MESFET器件,并完成直流特性测试和交流小信号特性测试工作.共制备出3种结构尺寸的MESFET器件,其栅长栅宽分别为0.5μm/80μm,0.7μm/80μm和2μm/2mm,其中0.5μm/80μm的MESFET器件的漏极电流密度最高,频率特性最好.在漏源电......
[期刊论文] 作者：崔得东,郝重阳,宁瑾歌,,
来源：红外与激光工程 年份：2006
分析了制导光纤在缠绕状态下产生附加损耗的因素,建立一套解析模型,用来分析在精密缠绕过程中固有的交绕区的微弯损耗,并且将其结果与试验数据进行了比较。低温条件下,附加的...
[期刊论文] 作者：王小青,俞育德,宁瑾,,
来源：Journal of Semiconductors 年份：2016
A silicon wafer direct bonding with a thin SiO_2 layer at the interface was investigated. An atomic force microscope(AFM) was employed to characterize the surfa...
[期刊论文] 作者：宁瑾，张杨，刘忠立，NingJin，ZhangYang，LiuZhongli,
来源：城市道桥与防洪 年份：2007
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥...
[期刊论文] 作者：崔得东，郝重阳，宁瑾歌，CUIDe-dong，HAOChon,
来源：城市道桥与防洪 年份：2006
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥...
[会议论文] 作者：宁瑾,刘忠立,孙国胜,高见头,
来源：第八届全国抗辐射电子学与电磁脉冲学术交流会 年份：2005
本文讨论了高电压4H-SiC肖特基二极管的辐射效应,制备出肖特基接触金属为Ti金属的二极管,并对其抗总剂量辐照特性进行了研究.样品在经过1×106rad(Si)总剂量辐照以后,直流I-V...
[期刊论文] 作者：宁瑾,刘焕章,葛永才,刘忠立,
来源：半导体学报 年份：2003
提出了一种新的硅基电容式微传声器的制备方法，即采用多孔硅牺牲层技术制备声学孔，采用聚酰亚胺膜作声学振膜，采用该方法制备出的电容式微传声器器件，开路灵敏度为107．8dB，在400～10k......
[期刊论文] 作者：宁瑾,刘忠立,刘焕章,葛永才,
来源：功能材料与器件学报 年份：2003
提出一种新的牺牲层工艺.先将阳极氧化生成的多孔硅在 300℃的氮气氛下进行退火以稳定其多孔结构,然后将其在 700℃下氧化成为具有多孔结构的二氧化硅.用氧化的多孔硅材料作...
[期刊论文] 作者：宁瑾,刘忠立,刘焕章,葛永才,
来源：半导体学报 年份：2003
提出了一种新的工艺方法制备硅基电容式微传声器．用氧化多孔硅作牺牲层制备空气隙，用约15μm厚的浓硼掺杂硅作为微传声器的刚性背极板．采用该方法制备的微传声器，在500Hz至11kHz......
[期刊论文] 作者：蔡萌,司朝伟,韩国威,宁瑾,杨富华,
来源：微纳电子技术 年份：2020
提出了用氧化铟锡(ITO)作为掩膜对硅与玻璃的键合片进行深硅刻蚀的工艺。ITO薄膜采用直流溅射工艺常温生长,避免了传统等离子体化学气相沉积(PECVD)方式生长氧化硅掩膜高温对...
[期刊论文] 作者：宁瑾,刘忠立,刘焕章,葛永才,
来源：微细加工技术 年份：2003
多孔硅具有选择性生长以及可以迅速释放的特性,是MEMS工艺中很好的牺牲层材料.探讨了多孔硅牺牲层工艺的特点,并通过实验证明了其在电容式微传声器制备中的应用可能.提出可以...
[会议论文] 作者：崔得东[1]郝重阳[1]宁瑾歌[2],
来源：二〇〇六年全国光电技术学术交流会 年份：2006
分析了制导光纤在缠绕状态下产生附加损耗的因素,建立一套解析模型,用来分析在精密缠绕过程中固有的交绕区的微弯损耗,并且将其结果与试验数据进行了比较.低温条件下,附加的...
[期刊论文] 作者：宁瑾,刘忠立,刘焕章,葛永才,
来源：半导体学报 年份：2003
提出了一种新的工艺方法制备硅基电容式微传声器 .用氧化多孔硅作牺牲层制备空气隙 ,用约 15μm厚的浓硼掺杂硅作为微传声器的刚性背极板 .采用该方法制备的微传声器 ,在 50...
[期刊论文] 作者：张百强,郑中山,于芳,宁瑾,唐海马,杨志安,,
来源：物理学报 年份：2013
为了抑制埋层注氮导致的埋层内正电荷密度的上升,本文采用氮氟复合注入方式,向先行注氮的埋层进行了注氮之后的氟离子注入,并经适当的退火,对埋层进行改性.利用高频电容-电压...
[期刊论文] 作者：司朝伟,韩国威,宁瑾,赵永梅,杨富华,,
来源：微纳电子技术 年份：2014
MEMS音叉陀螺存在很多振动模态,分析发现,其在驱动方向上受到冲击时的振动形式与工作在驱动模态的振动形式是不同的。通过改进悬挂梁的尺寸结构,提高了冲击振动模态谐振频率...
[期刊论文] 作者：杨健,韩国威,司朝伟,赵永梅,宁瑾,,
来源：微纳电子技术 年份：2014
综述了氮化铝面内伸缩模态的射频MEMS谐振器。氮化铝面内伸缩模态谐振器(contour-mode resonator,CMR)利用了氮化铝薄膜的压电效应,由器件的机械谐振再通过机电转化实现谐振...
[期刊论文] 作者：王明珠,张景卢,张善荣,宁瑾志,段树林,,
来源：大连铁道学院学报 年份：1990
本文对16V240Z柴油机的燃油喷射系统进行了改造。形成新的电了喷射系统。文中对系统的主要结构进行了分析,首次建立了具有喷油泵、电磁控制阀和喷油嘴三个边界条件的电子喷射...
[期刊论文] 作者：刘楠,苏言,童鑫,韩国威,司朝伟,宁瑾,,
来源：微纳电子技术 年份：2017
综述了硅微机械陀螺仪温度补偿方法的研究现状。介绍了陀螺仪的基本原理,并分析了陀螺仪的温度特性。分别对温度控制、器件设计和算法补偿三种温度补偿方法进行了原理和结果...
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