【摘 要】
：
提出了用氧化铟锡(ITO)作为掩膜对硅与玻璃的键合片进行深硅刻蚀的工艺。ITO薄膜采用直流溅射工艺常温生长,避免了传统等离子体化学气相沉积(PECVD)方式生长氧化硅掩膜高温对
【机 构】
：
中国科学技术大学,中国科学院半导体研究所,中国科学院大学材料科学与光电技术学院
【基金项目】
：
模拟集成电路重点实验室稳定支持资助项目(6142802 WD201806)
论文部分内容阅读
提出了用氧化铟锡(ITO)作为掩膜对硅与玻璃的键合片进行深硅刻蚀的工艺。ITO薄膜采用直流溅射工艺常温生长,避免了传统等离子体化学气相沉积(PECVD)方式生长氧化硅掩膜高温对器件制备造成的影响。对不同的ITO薄膜图形化方式进行了研究,结果表明垂直或正锥形台阶的光刻胶剥离工艺制备的ITO薄膜边缘光滑,尺寸误差小,是实现ITO薄膜图形化的理想方式。进一步研究了基于ITO掩膜的键合片深硅刻蚀能力,在硅刻蚀深度达到150μm时,掩膜只消耗了5.66 nm,刻蚀选择比高达26500∶1,没有发现微掩膜效应。因此利
其他文献
肇庆大旺总统大酒店为采用框架-核心筒结构的超高层建筑,存在塔楼偏置、跃层柱、屋面偏心收进等多种不规则情况。采用多种程序对结构进行弹性、弹塑性分析,保证结构在小震下
为了有效控制工程造价，分析了目前高速公路设计阶段造价控制存在的问题，并从设计管理、技术创新、科学理论指导等方面采取相应的措施，从而提高工程设计质量和投资资金的效率。
以珠海市1988、1998和2008年3期TM影像为基础数据,在RS和GIS技术支持下,运用土地利用转移矩阵和景观格局指数模型,对珠海市滨海湿地20年间景观格局的动态变化过程进行定量分
【正】 空蝶鞍综合征(Empty Sella Syndrome).简称空鞍征,为一解剖与放射学概念,是指蛛网膜下腔疝入蝶鞍内,引起蝶鞍扩大、变性、垂体受压而产生的一系列症状的总称。 1951年
像莫斯科这类由于汽车拥堵不堪招致怨声载道的特大城市,地铁是城市中最便捷的交通工具。莫斯科地铁被认为是世界上最安全的地铁之一。前不久,俄罗斯《消防事业》月刊记者H·