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[期刊论文] 作者：刘刚,伊福廷,等,
来源：北京同步辐射装置年报 年份：1998
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[期刊论文] 作者：伊福廷,张院春,等,
来源：北京机电通讯 年份：2001
采用深度光刻与电铸技术相结合较好地解决了大深宽比的电火花工具电极的制造问题。在此基础上，利用优化的微细电火花加工工艺，可以实现大面积微细结构的高效、精细制造。...
[期刊论文] 作者：罗亮,伊福廷,张菊芳,,
来源：功能材料与器件学报 年份：2008
氯化铯纳米岛光刻技术是一种分子自组装光刻技术,该技术利用氯化铯在一定湿度下的自组装特性来形成具有一定尺寸和分布的原始氯化铯纳米岛结构,通过调整工艺条件可以适度控制...
[会议论文] 作者：伊福廷, 张菊芳, 侯凤杰,,
来源： 年份：2007
金属微孔在许多领域内有着巨大的需求,电火花、激光打孔、化学腐蚀及光刻等技术被开发用于各种需求的金属微孔加工。迷你雾化器产品需要有一定锥度的金属微孔片,满足该产品的...
[期刊论文] 作者：伊福廷,李勇,刘改红,,
来源：电加工与模具 年份：2011
利用LIGA技术的优势，针对电火花电极结构特点开发出相应的加工工艺，完成电火花复杂结构电极的制造。电火花电极的特点是大高宽比的金属柱状结构，这对于LIGA技术工艺具有特殊的难......
[期刊论文] 作者：刘静,常广才,伊福廷,张伟伟,
来源：电子器件 年份：2020
组合折射透镜是聚焦高能X射线(能量大于50keV)的主要聚焦元件,因此成为同步辐射聚焦技术的研究的前沿与热点。为实现优异的聚焦性能,透镜的优化设计是前提,优良的制备工艺是...
[期刊论文] 作者：伊福廷,张菊芳,彭良强,韩勇,
来源：中国微米/纳米第六届学术年会 年份：2003
SU8光刻胶优异的性能在MEMS技术的发展重得到了广泛的应用,已经成为MEMS研究中必不可少的方法之一.SU8光刻胶能够进行厚度达毫米的结构研究工作,另一方面SU8结构具有很好的侧...
[期刊论文] 作者：孙宝银,陈梦真,朱樟震,伊福廷,
来源：真空科学与技术 年份：1995
阐述了Ｘ射线镂空硅掩模的研制及其在同步辐射深层光刻中的应用。在北京同步辐射国家实验室Ｘ射线光刻装置上，采用本文研制的Ｘ射线镂空硅掩模获得胶厚为３０－４０μｍ、侧壁很陡、边缘很直的Ｘ射......
[期刊论文] 作者：刘静,伊福廷,盛伟繁,常广才,张伟伟,,
来源：光学精密工程 年份：2017
为提高硬X射线聚焦元件的聚焦性能，利用LIGA(Iihographie，Galvanofomiung，Abfomiung)技术，制备了深度为60μm的聚甲基丙烯酸甲醋（PMMA)材质硬X射线组合Kinafom透镜(CKL），并获得了良...
[期刊论文] 作者：章海军,赵冬伟,伊福廷,王波,张冬仙,
来源：纳米技术与精密工程 年份：2011
提出了基于光热（PT）微膨胀原理的新型光热微驱动技术．设计了一种能将纵向光热膨胀转化成横向偏转的微驱动器．以AutoCAD设计图为基础，采用KГF准分子激光微加工系统，在单层高密度聚......
[期刊论文] 作者：伊福廷,姜雄平,彭良强,张菊芳,韩勇,
来源：微纳电子技术 年份：2003
运用光刻、刻蚀技术在载玻片上刻蚀出条宽70 μm、深30 μm、长7 cm的沟槽,与另一载玻片键合,形成一微流路沟道,研制出了用于生物电泳技术的微流路生物芯片.在该芯片的研制中...
[期刊论文] 作者：周悦, 王雨婷, 伊福廷, 王波, 刘静, 张天冲,,
来源：表面技术 年份：2018
目的基于磁流变技术研制适用于微孔内壁抛光的装置。方法利用磁流变抛光液的性质,借鉴传统的抛光原理,设计并研制了适用于微孔内壁抛光的抛光装置,并对该装置进行了一系列的...
[期刊论文] 作者：陈永明, 彭良强, 陈传福, 伊福廷, 习复,,
来源：微细加工技术 年份：2001
设计合成了具有头-头结构的甲基丙烯酸甲酯共聚物以及含大空间侧基的甲基丙烯酸甲酯共聚物,研究了它们作为LIGA技术用抗蚀剂的光敏性能,结果表明适当大小空间侧基的引入,有助...
[期刊论文] 作者：孙钢杰,伊福廷,王焕华,贾全杰,张天冲,,
来源：电镀与精饰 年份：2016
利用磁控溅射技术,在不同偏压条件下在Si（001）基底上沉积了金属Cr薄膜样品。用同步辐射装置对样品进行了X-射线反射率测试,采用X-射线反射率分析法研究了不同偏压下Cr薄膜密度...
[期刊论文] 作者：马天军,陈振海,孙建海,伊福廷,刘濮鲲,,
来源：航空精密制造技术 年份：2015
行波管（TWT）是真空电子器件中的重要一类,正在向高频段乃至太赫兹频段发展。由于器件尺寸与工作波长的共渡性,导致随着频段的提高,高频慢波互作用结构的尺寸越来越小;当太赫兹......
[期刊论文] 作者：黄军容,彭良强,伊福廷,蒋毅坚,张菊芳,韩勇,
来源：过滤与分离 年份：2002
LIGA技术具有加工精度高,深宽比大,表面平整,应用领域广等优点,是一种先进的微细加工方法.将LIGA技术的这些优点充分用于过滤介质的制作中,能改善过滤介质的力学强度、机械性...
[期刊论文] 作者：韩勇,彭良强,巨新,伊福廷,张菊芳,吴自玉,
来源：北京同步辐射装置：英文版 年份：2001
重离子柬轰击聚碳酸酯后．对样品进行陈化和紫外线照射数化，在优化条件下蚀刻后得到纳米孔径核孔膜。利用电化学沉积技术在核孔膜中制备了最小孔径为30纳米的铜纳米线。获得的钥......
[期刊论文] 作者：黄军容,彭良强,伊福廷,蒋毅坚,张菊芳,韩勇,
来源：微纳电子技术 年份：2003
BSRF中的3B1光束线与LIGA实验站过去使用的3W1光束线相比,其同步辐射X光光谱较软、光强较弱,但可实现专用光和兼用光两用.现在LIGA实验站移到3B1光束线,为此必须进行新的LIGA...
[期刊论文] 作者：陈迪,李昌敏,章吉良,伊福廷,周狄,郭晓芸,
来源：微细加工技术 年份：2000
通过在北京高能所 3W 1束线上进行的X光深层光刻工艺研究 ,获得了侧壁光滑、陡直 ,厚度达 1 0 0 μm ,深宽比达 2 0的光刻胶和金属微结构 ,表明该光束线适用于LIGA技术的研究...
[期刊论文] 作者：马天军,孙建海,郝保良,李飞,伊福廷,刘濮鲲,,
来源：强激光与粒子束 年份：2015
真空电子器件的频率正向太赫兹频段发展,折叠波导慢波结构是行波管的核心部件,由于真空器件的尺寸与波长具有共渡性,频率越高,互作用结构的尺度越小,加工误差的要求越严格。...
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