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采用深度光刻与电铸技术相结合较好地解决了大深宽比的电火花工具电极的制造问题。在此基础上，利用优化的微细电火花加工工艺，可以实现大面积微细结构的高效、精细制造。
大面积微细结构的电火花高效加工
【摘 要】
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采用深度光刻与电铸技术相结合较好地解决了大深宽比的电火花工具电极的制造问题。在此基础上，利用优化的微细电火花加工工艺，可以实现大面积微细结构的高效、精细制造。
【机 构】
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中国科学院,北京市机电研究院100027
【出 处】
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北京机电通讯
【发表日期】
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2001年28期
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