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提出了基于光热（PT）微膨胀原理的新型光热微驱动技术．设计了一种能将纵向光热膨胀转化成横向偏转的微驱动器．以AutoCAD设计图为基础，采用KГF准分子激光微加工系统，在单层高密度聚乙烯（HDPE）上加工出长1500μm、宽250μm、厚40μm的开关式光热微驱动器．从微驱动器的扫描电子显微镜（SEM）图可以看出，微驱动器形状与AutoCAD设计值符合良好．光热微驱动实验采用脉冲频率可调的半导体激光器（4mW，650nm）作为驱动源．实验结果表明，在一定的脉冲频率范围（如0～17Hz）内，光热微驱动器具有