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[期刊论文] 作者：田如江,韩阶平,
来源：仪器仪表学报 年份：1996
ＳＴＭ针尖刻蚀的多电子束现象田如江，韩阶平（中国科学院微电子中心）自从ＳＴＭ问世以来，已有大量报导是利用ＳＴＭ针尖所产生的低能量、空间发散相当小的电子束进行纳米加工。ＳＴＭ纳米加工具有加工尺寸......
[期刊论文] 作者：田如江,马俊如,
来源：真空科学与技术 年份：1998
自１９５９年集成电路发明以来，它对人类的生产和生活方式的很多方面产生了极其重大的影响。集成电路正以线宽每年缩小３０％，集成规和工１倍，芯片价格随之下降的惊人 展。光刻技术的发展始终是......
[期刊论文] 作者：田如江,李润君,
来源：化学物理学报 年份：1994
实验获得了２４８ｎｍ激光光解ｎ－Ｃ５Ｈ１１Ｉ所产生的Ⅰ和Ⅱ碎片的飞行时间谱，从解离数据获得了解离碎片的平动能及内能分配情况，与过去碘代烷实验结果比较证明，随着烷基的增大，光解碎片的总平动能变小，烷......
[会议论文] 作者：田如江,韩阶平,
来源：第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会 年份：1997
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[会议论文] 作者：田如江,韩阶平,
来源：第十届全国半导体集成电路、硅材料学术会 年份：1997
ＳＴＭ大气中对２０ｎｍ厚ＰＭＭＡ进行曝光。他们解决了定位和显影问题，得了５０ｎｍ宽的曝光线条。...
[期刊论文] 作者：金世雄,田如江,
来源：应用化学 年份：1985
本文用稳定的极化曲线法研究了碱溶液中氧在铂和低碳钢电极上的阳极析出过程,并研究了OH~-、Cl~-、CNS~-、Li~+、Na~+和K~+等离子对过程的影响。稳态的动力学数据表明,氧在上...
[期刊论文] 作者：田如江,韩阶平,马俊如,
来源：真空科学与技术 年份：1998
自1959年集成电路发明以来，它已经对人类的生产和生活方式的很多方面产生了极其重大的影响。集成电路正以线宽每年缩小30％、集成规模增长1倍、芯片价格随之下降的惊人速度发展......
[会议论文] 作者：韩阶平,魏珂,田如江,刘辉,
来源：第十一届全国半导体集成电路、硅材料学术会议 年份：1999
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[会议论文] 作者：韩阶平,魏珂,田如江,刘辉,
来源：第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会 年份：1999
介绍了一种高速干法刻蚀设备ＮＩＣＰ－１型机。在该机上研究了硅的深腐蚀工艺，其腐蚀速率可达３μ／ｍｉｎ，硅与光刻胶刻蚀速率比达到１２５：１，可满足微机械加工的需要。......
[会议论文] 作者：魏珂,韩阶平,田如江,刘辉,
来源：第十一届全国半导体集成电路、硅材料学术会议 年份：1999
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[会议论文] 作者：韩阶平,刘辉,魏珂,田如江,
来源：第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会 年份：1999
研究了ＰＥＣＶＤ设备，并用此设备进行了ＳｉＯ〈，２〉和Ｓｉ〈，３〉Ｎ〈，４〉淀积工艺研究，取得了大面积均匀性≤±１℅的结果，除此之外还对ＰＥＣＶＤ的其它应用进行了初步探索。......
[期刊论文] 作者：田如江,李润君,孔繁敖,朱起鹤,
来源：化学物理学报 年份：2004
实验获得了２４８ｎｍ激光光解ｎ－Ｃ_５Ｈ_（１１）Ｉ所产生的Ｉ和Ｉ碎片的飞行时间谱，从解离数据获得了解离碎片的平动能及内能分配情况，与过去碘代烷实验结果比较证明，随着烷基的增大，光解碎片的总平动能变小，烷基......
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