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ＳＴＭ针尖刻蚀的多电子束现象田如江，韩阶平（中国科学院微电子中心）自从ＳＴＭ问世以来，已有大量报导是利用ＳＴＭ针尖所产生的低能量、空间发散相当小的电子束进行纳米加工。ＳＴＭ纳米加工具有加工尺寸小、设备简单等优点。但是对于ＳＴＭ纳米加工机理的认识还没有...
STM针尖刻蚀的多电子束现象
【摘 要】
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ＳＴＭ针尖刻蚀的多电子束现象田如江，韩阶平（中国科学院微电子中心）自从ＳＴＭ问世以来，已有大量报导是利用ＳＴＭ针尖所产生的低能量、空间发散相当小的电子束进行纳米加工。ＳＴＭ纳米加工具有加工尺寸
【机 构】
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中国科学院微电子中心
【出 处】
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仪器仪表学报
【发表日期】
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1996年S1期
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