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[学位论文] 作者:丁桂甫, 来源:上海交通大学 年份:2011
近年来,随着微机电系统技术的不断发展,微继电器在自动控制、通讯系统、遥感探测等方面具有广泛的应用。MEMS继电器不仅克服了传统继电器的体积大、成本高及装配复杂等缺点,而且......
[期刊论文] 作者:曹莹,丁桂甫, 来源:电子工艺技术 年份:2003
主要研究了计算机辅助设计在雷达吸波材料研究中的应用.根据电磁波传输理论,利用计算机,对雷达吸波材料的损耗介质进行优化设计,设计结果可以用来指导材料的设计,提高材料的...
[期刊论文] 作者:丁桂甫,徐东, 来源:微细加工技术 年份:1999
镍钛合金形状记忆薄膜的图形化技术曾是其实用化的主要障碍之一,现在一种工作性能优越的化学刻蚀液可以实现薄膜的高精度图形化,该刻蚀液常温工作, 1-5微米/分之间一可得到满意的刻......
[期刊论文] 作者:张文华,丁桂甫, 来源:微细加工技术 年份:1998
用金刚石薄膜作为支撑层,金作为吸收体;同时,采用Ni合金过渡层来解决金刚石与金之产是的结合力小,热匹配性能差等问题。...
[期刊论文] 作者:张寿柏,丁桂甫, 来源:上海有色金属 年份:2000
本文主要讨论微机电系统中的常用材料和加工技术。具体分析了Si、GaAs、SiC、金刚石和石英等材料的性能及其在微机电系统中的应用,并论述了材料的各向同性和各向异性刻蚀加工技术以及材......
[期刊论文] 作者:余晋岳,丁桂甫, 来源:上海交大科技 年份:1993
[期刊论文] 作者:丁桂甫,张寿柏, 来源:微细加工技术 年份:1996
本文推荐一种镀液,用于制作电磁型微电机转子坡莫合金导磁层,研究了该镀液的组成和工作条件对镀层成份和内应力的影响,表明该镀液具有可供选用的电流密度范围宽,允许较高Fe^2-浓度和镀......
[期刊论文] 作者:俞爱斌,丁桂甫, 来源:微细加工技术 年份:2000
高深度比结构是提高微器性能的重要环节之一。利用RIE深刻技术和工具有高深宽比结构的图形,方法简单:它不像LIGA技术那样,需昂贵的同步辐射光源和特制的掩模板,对光刻胶的要求也不是特别......
[期刊论文] 作者:丁桂甫,姚锦元, 来源:材料保护 年份:1997
利用化学镀镍方法成功地实现了对稀土永磁体Nd-Fe-B的抗腐蚀性保护。选择适当的预处理工艺与化学镀镍槽液相结合可获得抗腐蚀性能良好的镍保护层,化学镀双层镍的抗腐蚀性能尤其突出。......
[期刊论文] 作者:丁桂甫,周伟舫, 来源:上海交通大学学报 年份:1996
利用XPS技术观测1.35V恒电位极化形成的铅和铅锑合金阳极膜,发现锑对阳极膜表面层二氧化铅的生长有明显抑制作用,利用AES结合Ar^+刻蚀技术对其内层主要组成元素作深度分布分析,发现锑能够显著提......
[期刊论文] 作者:丁桂甫,张寿柏, 来源:上海交通大学学报 年份:1996
由速冷Pb-Cd合金循环氧化而形成的Pb晶体电极具有优异的电化学性能,与纯 极膜相比,其氧化层中活性成分形成速度快,单位面积含量高,β-PbO2含量大并具有良好的多孔性结构。与薄型涂膏式PbO2电极相......
[期刊论文] 作者:丁桂甫,谭麟祥, 来源:薄膜科学与技术 年份:1992
[期刊论文] 作者:付世,丁桂甫,王艳, 来源:上海交通大学学报 年份:2006
介绍了一种基于微机电系统(MEMS)技术的新型双稳态电磁微继电器的设计及其制作工艺,并对其主要性能进行了测试.利用换向脉冲电流驱动高效的“三明治”式电磁驱动结构,带动电接触刷......
[期刊论文] 作者:郑钰,王亚,丁桂甫,, 来源:纳米技术与精密工程 年份:2012
喷砂是一种高效率的表面加工技术,将其应用于微加工领域可以实现对玻璃、硅和陶瓷等脆性材料的选择性刻蚀.本文着重探讨了掩膜性质及刻蚀条件对喷砂微加工刻蚀效率及刻蚀形貌...
[期刊论文] 作者:曹莹, 丁桂甫, 杨春生,, 来源:电镀与环保 年份:2003
对电镀锌进行纳米改性研究 ,研究了镀锌层的沉积和腐蚀极化曲线。采用场发射电镜 (FEG TEM)观察镀锌层结晶的形态 ,结果表明 ,镀锌层出现纳米晶粒...
[期刊论文] 作者:张丹,丁桂甫,蔡豪刚,, 来源:微细加工技术 年份:2007
用电化学沉积Cu作为牺牲层制备面外运动电热微驱动器的悬空结构,并建立了一种简单、可靠的牺牲层工艺技术.该工艺具有工艺流程简单、牺牲层易获取、释放简单、腐蚀选择性好、...
[期刊论文] 作者:黄龙旺,杨春生,丁桂甫, 来源:微细加工技术 年份:2002
研究目的是优化Ni掩模PMMA RIE的刻蚀参数,在氧刻蚀气体中加入表面钝化性气体CHF3,以较快的刻蚀速率获得垂直的侧壁和最小的掩模钻蚀.采用平行板结构的反应离子刻蚀机刻蚀,研...
[期刊论文] 作者:张丛春,郭泰,丁桂甫,, 来源:光学精密工程 年份:2013
为了在微流体控制系统中实现对流体流速的控制和流体的单向流动,借鉴人体心脏瓣膜的结构,设计了新型被动式微阀。选用SU-8作为被动式微型阀的结构材料,用ANSYS仿真了不同厚度(10,1......
[期刊论文] 作者:张东梅, 丁桂甫, 姜政,, 来源:电子产品世界 年份:2005
微型化是机电继电器最重要的发展方向之一,MEMS设计和制造技术的进展开辟了机电继电器微型化的崭新途径。本文系统介绍了典型MEMS继电器的研究进展,简要地比较、评述了它们的...
[期刊论文] 作者:王志娟, 赵军红, 丁桂甫,, 来源:纳米技术与精密工程 年份:2015
润滑油是以发动机为代表的机械设备的"血液",其中携带了大量零部件的磨损颗粒.这些磨损颗粒反映了机械设备的运行状态,对其进行监测可以对发动机的早期故障进行预测,为发动机...
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