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用金刚石薄膜作为支撑层，金作为吸收体；同时，采用Ｎｉ合金过渡层来解决金刚石与金之产是的结合力小，热匹配性能差等问题。
用金刚石薄膜制造X射线掩模版
【摘 要】
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用金刚石薄膜作为支撑层，金作为吸收体；同时，采用Ｎｉ合金过渡层来解决金刚石与金之产是的结合力小，热匹配性能差等问题。
【机 构】
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上海交通大学信息存储研究中心
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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1998年1期
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