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[期刊论文] 作者：罗先刚,陈旭南,
来源：物理 年份：1998
提高亚半微米微细图形光刻分辨力的新技术（Ⅱ）罗先刚陈旭南姚汉民（中国科学院光电技术研究所，成都６１０２０９）４相移掩模技术［５］相移掩模（ｐｈａｓｅｓｈｉｆｔｍａｓｋ，ＰＳＭ）最初由美国的Ｍ．Ｄ．Ｌｅｖｅｎｓｏｎ...
[期刊论文] 作者：,
来源：光机电信息 年份：2001
2001040102纳米光刻技术[中]/罗先刚…//物理.-2000,29(6).-358—363,3502001040103用于高分辨大视场微光刻的全息照相技术研究[中]/冯伯儒…//微细加工技术.-...
[期刊论文] 作者：方舟,小平,
来源：光机电信息 年份：2004
2001040102纳米光刻技术[中]/罗先刚…//物理.-2000,29(6).-358—363,3502001040103用于高分辨大视场微光刻的全息照相技术研究[中]/冯伯儒…//微细加工技术.-...
[期刊论文] 作者：,
来源：四川师范大学学报:自然科学版 年份：2020
11月22日,中国工程院发布《中国工程院2019年院士增选结果》,公布表明:2019年,中国工程院开展了第14次院士增选和第13次外籍院士增选,共选举产生75位院士和29位外籍院士.我校...
[期刊论文] 作者：,
来源：科学中国人 年份：2018
中科院光电技术研究所微细加工与光学技术国家重点实验室罗先刚等利用表面等离子体共振光刻技术,成功实现了亚波长超表面全息图的批量化制备,相关论文发表于《先进光学材料》...
[期刊论文] 作者：徐雨薇,於徐阳,,
来源：今日浙江 年份：2011
28岁的罗先刚是个“老江湖”，19岁从江西老家外出打工，辗转于浙江各县市的企业，最终选择留在路桥区路南街道的三欧公司。考虑在路桥“定居”下来，是因为，虽然这个租来的家才10平方...
[期刊论文] 作者：,
来源：中国粉体工业 年份：2016
电子科技大学物电学院副教授黄小平与中科院光电技术研究所研究员罗先刚和东南大学教授徐庆宇合作,对金属纳米阵列结构的激光倏逝驻波场定向组装理论及技术开展了研究,并取得...
[期刊论文] 作者：罗先刚,,
来源：光电工程 年份：2017
光学是一门具有数千年研究历史的古老而又生机勃发的学科。自诞生之日起，光就与电结伴而行。无论过去、现在，还是未来，光电工程在医药、能源、信息、通信、天文、艺术和文化等诸......
[期刊论文] 作者：罗先刚,
来源：中国农资 年份：2014
摘 要：有机无机肥料的配合使用，能够相互促进作物进行吸收，使得作物生长过程中既含有大量元素肥料，也含有作物需要而土壤中含量甚微的微量元素。只有用量适当，养分全面，利用率高，才能真正发挥有机无机肥料的作用。目前我国广大农村专门的农业技术人员不断减少，配方施肥......
[会议论文] 作者：罗先刚,
来源：第九届全国光子学学术会议暨中国光学学会纤维光学与集成光学专委会成立30周年大会 年份：2014
亚波长结构材料是近年来发展起来的一种新型电磁材料，在电磁学和光学领域具有重要应用。与自然材料以及传统复合材料不同，亚波长结构材料的电磁性质不仅由结构中各组分(金......
[期刊论文] 作者：罗先刚,
来源：科技传播 年份：2023
＜正＞在我国科技事业的发展中，战略定力起到了至关重要的作用。自新中国成立以来，深耕在光电领域的科技工作者，以国家重大需求为导向，保持战略定力，取得了一次又一次的突破。新中国成立初期，在国家研制“两弹一星”战略决策影响下，高速光学摄影、光学材料、光电跟瞄等关键......
[会议论文] 作者：杜春雷, 罗先刚,,
来源： 年份：2006
利用光与亚波长金属结构中自由电子相互作用、共振激发产生的表面等离子体波实现电磁波调制,可构成新一代纳光子功能器件。本报告介绍实验室近期研究的新型纳米功能器件。...
[期刊论文] 作者：罗先刚,姚汉民,
来源：物理 年份：2000
纳米科学技术将成为新世纪信息时代的核心。纳米量级结构作为研究微观量子世界的重要基础之一，其制作技术是整个纳米技术的核心基础，已成为当前世界科学研究急需解决的问题。文......
[期刊论文] 作者：姚汉民,罗先刚,
来源：LSI制造与测试 年份：1997
本文对目前用于提高亚半微以影光刻机成像分辨力、增大焦深的一些新技术；大数值孔径和短波长技术、倾斜照明技术、相移掩模技术、光瞳波技术，多焦面曝光技术以及表面成技术的和......
[期刊论文] 作者：罗先刚,姚汉民,
来源：光电工程 年份：2000
针对光刻系统分辨力和焦深的矛盾，详细研究了二元光栅照明对硅片上光强以及对光刻系统传输频率的影响，结果表明，二元光栅照明可显著提高光强的对比度，改善成象系统的频率传递函数......
[期刊论文] 作者：罗先刚,姚汉民,
来源：微细加工技术 年份：2000
基于激光冷却和捕获原子的原理，初步探讨了利用原子进行纳米量级图形制作的基本原理和实验研究。研究结果表明，此可实现分辨率高达几个纳米大小的超微细图形制作，制作效率极高。......
[期刊论文] 作者：罗先刚,姚汉民,
来源：微细加工技术 年份：1998
本文针对目前亚半微米分步重复投影光刻机四级／环形离轴倾斜照明能量利用率低的缺点，设计了一种二元光学元件应用于离轴倾斜照明的系统。...
[期刊论文] 作者：罗先刚,陈旭南,
来源：光电子．激光 年份：1998
在亚μｍｉ线曝光装置上研究了四极、环形、及二元光栅照明对投影光刻分辨力的影响。主要就曝光能量，分辨力改善情况，焦深变化等与传统情况作了比较。研究发现，就分辨力和焦深而言，３种......
[期刊论文] 作者：罗先刚,姚汉民,等,
来源：光子学报 年份：2000
详细研究了离轴掩模的原理，将离轴照明（OAI）与相移掩模（PSM）技术结构起来，在掩模上同时实现两种功能。较大程度地提高了光刻分辨力。实验表明，在数值孔径0.42,i线曝光波长下，可将光刻......
[期刊论文] 作者：罗先刚,陈旭南,
来源：光电工程 年份：1998
采用部分相干成象理论对二元光机照明进行了较为详细的研究。分析了二元光栅照明对分辨力，焦，照明能量和照明均匀性的影响，并通过实验研究验证了二元光栅对分辨力和焦深有较大程......
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