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[学位论文] 作者:施志贵,, 来源:中国工程物理研究院北京研究生部 年份:2000
高阻硅探测器的漏电流是噪声的主要来源,它直接影响能量分辨率好坏和灵敏度高低,是探测器的重要参数之一。如何把漏电流减少到最低限度,从而获得高质量的探测器,是目前国内外正在......
[期刊论文] 作者:施志贵, 来源:中国工程物理研究院科技年报 年份:2003
基于串联光电池阵列和半导体桥(SCB)点火器的组合运用设计了光电混合点火实验装置(图1):光电池阵列(PV-array)将二极管激光器(LD)发射的准连续波激光转换成电能并存储在电容器...
[期刊论文] 作者:施志贵, 来源:电子技术参考 年份:2001
通过分析γ射线与物质相互作用的一般特性,从理论上计算硅PIN探测器γ射线灵敏度,为γ射线探测器的物理设计提供理论依据。...
[期刊论文] 作者:施志贵, 来源:电子技术参考 年份:2000
系统地分析了高寺探测器漏电流产生的机理及其主要的影响因素,并采用工艺实验的手段具体研究了一种有效降低探测器漏电流的方法--保护环结构。样品测试结果表明,保护环结构使探测......
[期刊论文] 作者:施志贵, 来源:电子技术参考 年份:2000
介绍了一种新型辐射探测技术-辐射-相干光转换光纤技术,重点叙述了辐射-相干光转换器(RCLC)的结构、原理以及16MeV电子束和低能X辐射实验。由于其极好的时间响应特性(〈200ps)和模拟特性,预计在惯性约......
[会议论文] 作者:施志贵, 来源:第十届全国核电子学与核探测技术学术年会 年份:2000
定性分析了高阻硅探测器表面漏电流的产生,同时介绍了一种有效降低漏电流的方法,即保护环结构。结果表明:保护环结构使探测器的漏电流降低了0.5~1个量级。...
[会议论文] 作者:施志贵, 来源:全国信息与电子工程第五届学术年会暨四川省电子学会曙光分会第十六届学术年会 年份:2012
以单层硅活动部件的工艺设计为例,总结了玻璃上硅(SOG)工艺和绝缘体上硅(SOI)工艺的设计及其关键技术。对于湿法SOG工艺,关键技术是使用10%浓度的KOH实现侧壁陡直的微结构自停止腐蚀释放。对于干法SOG工艺,使用SOI材料替代普通单晶硅能够获得表面平整、光滑、厚度可......
[期刊论文] 作者:施志贵,杨芳, 来源:中国微米纳米技术第七届学术年会 年份:2005
本文介绍了一种利用硅MEMS工艺集成制造冲击片雷管的方法.首先在标准硅片上依次沉积二氧化硅、多晶硅(重掺杂)和铝,经过光刻刻蚀后形成桥单元,接下来采用阳极键合工艺在桥上粘接玻璃片,然后采用深反应离子刻蚀工艺在桥下方反向刻蚀单晶硅衬底到预定深度,形成冲......
[会议论文] 作者:施志贵,贾焕义, 来源:第三届全国核仪器应用学术会议 年份:2001
利用高阻硅单晶,用真空蒸发的方法,研制成功了一种新型高速光电导辐射探测器,可用于较低偏压下应用的低注量γ脉冲触发器.简述了探测器的物理设计、结构设计以及工艺制作....
[期刊论文] 作者:施志贵,武蕊,张莉, 来源:信息与电子工程 年份:2004
利用CΓC67实验装置测量了薄片PIN探测器及其二元和三元阵列的低能(射线灵敏度和上升时间.实验证实,三元阵列灵敏度比单个探测器提高到近3倍,但上升时间也随之增大到近2倍....
[期刊论文] 作者:王亚军,陈樟,施志贵,, 来源:激光与红外 年份:2013
折叠波导结构是一种极具潜力的太赫兹行波管慢波电路。分析了电子注通道形貌对折叠波导高频特性的影响,包括色散特性、耦合阻抗和衰减特性。仿真结果表明,相比于圆形电子注通...
[期刊论文] 作者:施志贵,杨芳,ShiZhigui,YangFang, 来源:中国机械工程 年份:2005
[会议论文] 作者:施志贵[1]杨芳[2], 来源:中国微米纳米技术第七届学术年会 年份:2005
  本文介绍了一种利用硅MEMS工艺集成制造冲击片雷管的方法.首先在标准硅片上依次沉积二氧化硅、多晶硅(重掺杂)和铝,经过光刻刻蚀后形成桥单元,接下来采用阳极键合工艺在...
[会议论文] 作者:赵洪超,施志贵,赵刚, 来源:第八届全国抗辐射电子学与电磁脉冲学术交流会 年份:2005
本文简要分析了PIN探测器的工作原理,针对低工作偏压条件下低阈值γ瞬时辐射环境探测问题,重点进行了PIN探测器应用技术研究,最后给出了辐照试验结果数据....
[期刊论文] 作者:张照云,施志贵,张慧,彭勃,, 来源:太赫兹科学与电子信息学报 年份:2014
讨论了高性能微惯性器件单片集成技术。首先对单片集成MEMS技术的优势及面临的困难进行了讨论,并对目前主流的单片集成MEMS技术特点、工艺流程进行了介绍,最后,给出高性能微...
[期刊论文] 作者:陈颖慧,张慧,施志贵,屈明山,, 来源:微纳电子技术 年份:2015
为了提高微电子机械系统(MEMS)器件的成品率和集成度,介绍了一种应用于圆片级封装的硅帽结构。重点介绍了该硅帽结构的设计和加工方法。分析了圆片级封装(WLP)采用侧引线和通...
[期刊论文] 作者:王亚军,陈樟,程焰林,施志贵, 来源:红外与毫米波学报 年份:2014
从行波管工作的物理特性提出了一种获得折叠波导慢波结构参数的简单方法,给定工作频率和电压,能够获得折叠波导慢波结构的初始参数.设计了D波段的折叠波导结构来验证该方法,...
[期刊论文] 作者:费三国,陈颖慧,施志贵,杜连明,, 来源:信息与电子工程 年份:2011
为了跟踪国外先进引信技术和引信装备的发展,有效提高武器系统的安全性,研制了一种新型的光电转换安全点火装置。对其工作原理和相关关键部件的工作机理进行介绍,分析该装置涉及......
[期刊论文] 作者:陈颖慧,唐彬,施志贵,谢国芬,, 来源:微纳电子技术 年份:2013
介绍了一种减小交叉耦合的三维微加速度计的设计,该设计采用全差分电容式结构,X轴和Y轴采用梳齿电容式加速度计,Z轴采用扭摆电容式加速度计,三个轴向各自具有不同的敏感质量...
[期刊论文] 作者:王亚军,陈樟,程焰林,施志贵,, 来源:红外与毫米波学报 年份:2014
从行波管工作的物理特性提出了一种获得折叠波导慢波结构参数的简单方法,给定工作频率和电压,能够获得折叠波导慢波结构的初始参数.设计了D波段的折叠波导结构来验证该方法,...
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