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高性能微惯性器件单片集成技术
高性能微惯性器件单片集成技术
来源 :太赫兹科学与电子信息学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:echo_1978
【摘 要】
:
讨论了高性能微惯性器件单片集成技术。首先对单片集成MEMS技术的优势及面临的困难进行了讨论,并对目前主流的单片集成MEMS技术特点、工艺流程进行了介绍,最后,给出高性能微
【作 者】
:
张照云
施志贵
张慧
彭勃
【机 构】
:
中国工程物理研究院电子工程研究所,中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室
【出 处】
:
太赫兹科学与电子信息学报
【发表日期】
:
2014年4期
【关键词】
:
微机电系统
单片集成
微惯性器件
表面微机械加工
体硅微机械加工
Micro-Electro-Mechanical Systems(MEMS)
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讨论了高性能微惯性器件单片集成技术。首先对单片集成MEMS技术的优势及面临的困难进行了讨论,并对目前主流的单片集成MEMS技术特点、工艺流程进行了介绍,最后,给出高性能微惯性器件单片集成技术的未来发展趋势。
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