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[学位论文] 作者：戴凤钊,
来源：中国科学院大学 年份：2013
波前测量技术在现代物理学、天文学、生物医学以及工程技术等领域发挥着越来越重要的作用。横向剪切干涉波前测量技术具有不需要参考面、对振动不敏感、测量动态范围大等优点...
[会议论文] 作者：杜聚有,戴凤钊,王向朝,
来源：第十六届全国光学测试学术交流会 年份：2016
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[期刊论文] 作者：杜聚有, 戴凤钊, 王向朝,,
来源：中国激光 年份：
集成电路工艺节点的持续缩小对光刻机的套刻精度提出了越来越高的要求,而掩模与硅片位置对准精度是保证套刻精度的关键。对于10nm工艺节点,套刻精度要求在3nm以下,相应的对准...
[会议论文] 作者：戴凤钊,王向朝,唐锋,
来源：第十五届全国光学测试学术交流会 年份：2014
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[期刊论文] 作者：张敏,唐锋,王向朝,戴凤钊,
来源：中国激光 年份：2013
基于ZYGO干涉仪实测干涉图，利用二维快速傅里叶变换(FFT)法进行相位提取，并与相移干涉相位测量结果进行比对，对影响FFT法相位提取精度的边缘误差、窗函数、滤波器设计、干涉图延拓以及载波条纹数等因素进行了综合分析。结果表明直接二维FFT法干涉图边缘0.05R环形区......
[期刊论文] 作者：杜聚有, 戴凤钊, 步扬, 王向朝,,
来源：中国激光 年份：
随着光刻技术向10nm及以下工艺节点延伸,光刻工艺对套刻精度提出了更高的要求,相应的对准精度要求已经达到亚纳米量级。本文提出一种基于自相干莫尔条纹的光刻机对准方法,其...
[期刊论文] 作者：杜聚有, 戴凤钊, 步扬, 王向朝,,
来源：中国激光 年份：2004
随着光刻技术向10nm及以下工艺节点的延伸,光刻工艺对套刻精度提出了更高的要求,相应的对准精度的要求已经达到亚纳米量级。提出一种基于自相干叠栅条纹的光刻机对准方法,其...
[会议论文] 作者：郑亚忠,戴凤钊,步扬,王向朝,
来源：第十六届全国光学测试学术交流会 年份：2016
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[期刊论文] 作者：李杰,唐锋,王向朝,戴凤钊,冯鹏,,
来源：中国激光 年份：2014
在分析光栅横向剪切干涉仪典型结构及系统参数配置,给出其适用范围的基础上,系统研究了该干涉仪结构最显著的系统误差:几何光程误差和探测器倾斜误差。采用Zernike多项式给出...
[会议论文] 作者：王向朝,曾爱军,李思坤,戴凤钊,黄惠杰,
来源：第二届全国偏振与椭偏测量研讨会 年份：2016
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[期刊论文] 作者：诸波尔,李思坤,王向朝,戴凤钊,唐锋,段立峰,
来源：光学学报 年份：2018
提出了一种基于多偏振照明的浸没式光刻机投影物镜高阶波像差快速检测技术。通过采用一元线性采样方式,在不同偏振照明条件下采集浸没式光刻机投影物镜的空间像进行主成分分...
[期刊论文] 作者：孟泽江,李思坤,王向朝,步扬,戴凤钊,杨朝兴,
来源：光学学报 年份：2019
针对穆勒矩阵成像椭偏仪的系统误差源提出一种简化分析方法,将光强曲线的理想傅里叶级数系数组与实际系数组进行近似匹配,建立穆勒矩阵测量误差与误差源参数之间的线性模型。针对解析式复杂的随机方位角误差,从统计学角度提出了一种等效噪声模型以分析其对测量......
[期刊论文] 作者：孟泽江,李思坤,王向朝,步扬,杨朝兴,戴凤钊,
来源：光学学报 年份：2019
提出了一种原位的光刻机投影物镜偏振像差检测方法。定义一种新的偏振像差表征方法,推导了3对正交偏振态照明下空间像之差与偏振像差3个泡利项之间的互相关关系,并据此对交替相移掩模的3组差分空间像进行主成分分析进而求解偏振像差的各项泡利泽尼克系数。从理......
[期刊论文] 作者：诸波尔,王向朝,李思坤,孟泽江,张恒,戴凤钊,段立峰,,
来源：光学学报 年份：2017
提出了一种基于八角度孤立空检测标记的超高NA光刻投影物镜高阶波像差检测方法。通过对八角度孤立空检测标记的空间像进行主成分分析（PCA）和多元线性回归分析,构建了超高NA光刻......
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